[發(fā)明專利]真空環(huán)境下的光腔調(diào)整機(jī)構(gòu)

有效

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• 申請日: 2014-11-12
• 公開（公告）號: CN104319601B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王鑫;金策;劉濤;孫桂俠;蘇新軍
• 申請（專利權(quán)）人: 核工業(yè)理化工程研究院
• 主分類號: H01S3/02
• 分類號: H01S3/02;H01S3/08
• 代理公司: 天津市宗欣專利商標(biāo)代理有限公司12103
• 代理人: 胡恩河

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于光腔調(diào)整機(jī)構(gòu)，具體涉及一種真空環(huán)境下的光腔調(diào)整機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

光腔調(diào)整機(jī)構(gòu)是通過對反射鏡所在位置不同角度的調(diào)節(jié)，使從激光器諧振腔射出的激光通過反射鏡的反射實(shí)現(xiàn)激光按照一定方向形成所需要的光路的裝置。常見的光學(xué)鏡架采用三點(diǎn)式固定，在方形的鏡架上選擇一個頂角作為固定點(diǎn)，用一顆鋼球作為調(diào)整軸，另兩個相鄰頂角上放置兩個螺紋副，對反射鏡進(jìn)行俯仰和左右方向的調(diào)節(jié)。這種方式優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)非常簡便，成本低，但是存在一個致命的缺點(diǎn)，就是光路調(diào)節(jié)不能嚴(yán)格按照水平和垂直的方向進(jìn)行。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)而提出的，其目的是提供一種真空環(huán)境下的光腔調(diào)整機(jī)構(gòu)。

本發(fā)明的技術(shù)方案是：

一種真空環(huán)境下的光腔調(diào)整機(jī)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)臺，與旋轉(zhuǎn)臺連接的下部電機(jī)和安裝于旋轉(zhuǎn)臺上的俯仰臺，所述俯仰臺包括上底板、下底板和立柱；立柱的上頂面形成凸沿，在立柱的中部側(cè)壁向凸沿反方向形成平臺；下底板上頂面前端左右兩側(cè)均固定有“⊥”型轉(zhuǎn)動軸下支撐塊，上底板下底面前端左右兩側(cè)均固定有T型轉(zhuǎn)動軸上支撐塊，轉(zhuǎn)動軸下支撐塊和轉(zhuǎn)動軸上支撐塊中心均形成有通孔，軸承安裝于轉(zhuǎn)動軸下支撐塊和轉(zhuǎn)動軸上支撐塊之間，轉(zhuǎn)動軸依次穿過左右兩側(cè)的轉(zhuǎn)動軸下支撐塊和轉(zhuǎn)動軸上支撐塊的通孔，兩根拉簧安裝于上底板和下底板的后端之間；反射鏡夾具與凸沿下底面固定連接，兩個強(qiáng)磁鐵固定盒安裝于立柱的側(cè)壁上， 中部電機(jī)安裝于平臺上，中部電機(jī)的電機(jī)軸與聯(lián)軸器連接，聯(lián)軸器與螺紋副組件連接；聯(lián)軸器呈圓柱形，上部中心形成電機(jī)軸連接孔和垂直于電機(jī)軸連接孔且與其連通的頂絲孔，下部形成聯(lián)軸器方孔；螺紋副組件由螺紋副方軸、螺紋軸和螺母套組成，螺紋副方軸和螺紋軸固定連接，螺母套套裝于螺紋軸外部，螺母套內(nèi)圓周形成的內(nèi)螺紋與螺紋軸的外螺紋嚙合，螺母套與上底板固定連接。

所述下底板與旋轉(zhuǎn)臺上頂面固定連接。

所述兩個強(qiáng)磁鐵固定盒處于平臺的同側(cè)，一個位于平臺上方，另一個位于平臺下方，且上部的強(qiáng)磁鐵固定盒位置高于中部電機(jī)。

所述電機(jī)軸伸入電機(jī)軸連接孔中，并通過頂絲穿過頂絲孔使電機(jī)軸與聯(lián)軸器固定連接。

所述螺紋副方軸伸入聯(lián)軸器方孔中。

所述電機(jī)軸連接孔的內(nèi)徑與電機(jī)軸外徑相匹配，螺紋副方軸的形狀和尺寸與螺紋副方軸的形狀和尺寸相匹配。

本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明使用兩套完全獨(dú)立的調(diào)整機(jī)構(gòu)，對反射鏡的俯仰和左右調(diào)節(jié)能實(shí)現(xiàn)光路嚴(yán)格按照垂直和水平方向運(yùn)動。本發(fā)明在結(jié)構(gòu)設(shè)計上避免了盲孔，在運(yùn)動接觸處未使用潤滑油，傳動電機(jī)使用真空無油電機(jī)，使其可用于真空環(huán)境下，僅在外部用控制器操作，便可實(shí)現(xiàn)對真空腔體內(nèi)部的光腔調(diào)整架進(jìn)行調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)所需光路軌跡；保證真空腔體內(nèi)真空環(huán)境不受到破壞，保障了設(shè)備和人員的安全。

本發(fā)明克服了一般調(diào)整架無法保證光路實(shí)現(xiàn)嚴(yán)格的垂直和水平移動的缺陷，同時滿足在真空環(huán)境中的使用要求，操作靈活方便，使用安全可靠。

附圖說明

圖1是本發(fā)明真空環(huán)境下的光腔調(diào)整機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明中俯仰臺的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明中聯(lián)軸器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明中螺紋副組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：

1 旋轉(zhuǎn)臺 2 下部電機(jī)

3 俯仰臺 4 上底板

5 下底板 6 立柱

7 凸沿 8 平臺

9 轉(zhuǎn)動軸下支撐塊 10轉(zhuǎn)動軸上支撐塊

11軸承 12轉(zhuǎn)動軸

13拉簧 14反射鏡夾具

15強(qiáng)磁鐵固定盒 16中部電機(jī)

17電機(jī)軸 18聯(lián)軸器

19螺紋副組件 20電機(jī)軸連接孔

21頂絲孔 22聯(lián)軸器方孔

23螺紋副方軸 24螺紋軸

25螺母套。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合說明書附圖及實(shí)施例對本發(fā)明真空環(huán)境下的光腔調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明：

如圖1~4所示，一種真空環(huán)境下的光腔調(diào)整機(jī)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)臺1，與旋轉(zhuǎn)臺1連接的下部電機(jī)2和安裝于旋轉(zhuǎn)臺1上的俯仰臺3，

所述俯仰臺3包括上底板4、下底板5和立柱6；立柱6的上頂面形成凸沿7，在立柱6的中部側(cè)壁向凸沿7反方向形成平臺8；

旋轉(zhuǎn)臺1靠外控制器（未圖示）控制下部電機(jī)2使其轉(zhuǎn)動，實(shí)現(xiàn)反射鏡做水平旋轉(zhuǎn)運(yùn)動；旋轉(zhuǎn)臺1上面放置俯仰臺3，俯仰臺3的下底板5與旋轉(zhuǎn)臺1上頂面固定，保證旋轉(zhuǎn)臺1的轉(zhuǎn)向運(yùn)動傳遞到俯仰臺3上。