[發明專利]一種前置于真空獲得設備的氣體過濾裝置

有效

• 申請號: 201410632136.4
• 申請日: 2014-11-10
• 公開（公告）號: CN105649959B
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發明（設計）人: 王光玉;湯劍;李昌龍
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
• 主分類號: F04B39/16
• 分類號: F04B39/16
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司21002
• 代理人: 何麗英

1.一種前置于真空獲得設備的氣體過濾裝置，其特征在于：包括上級過濾器(A)、中間連接盤(5)及下級過濾器(B)，其中下級過濾器(B)的下端設有下級進氣口(2)，上端與上級過濾器(A)的底部連接，所述上級過濾器(A)的頂部設有上級排氣口(10)，所述中間連接盤(5)設置于上級過濾器(A)的底部，所述中間連接盤(5)上沿周向設有多個將上級過濾器(A)和下級過濾器(B)連通的通孔；

所述下級過濾器(B)包括下級過濾器腔體(1)和設置于下級過濾器腔體(1)內的下級濾芯(3)，所述下級進氣口(2)設置于下級過濾器腔體(1)的下端側壁上，所述下級濾芯(3)的側壁上背對下級進氣口(2)的位置設有下級濾芯進氣口，所述下級濾芯(3)的頂部設有與中間連接盤(5)上的通孔連通的下級濾芯出氣口。

2.按權利要求1所述的前置于真空獲得設備的氣體過濾裝置，其特征在于：所述上級過濾器(A)包括上蓋板(12)、上級過濾腔體(7)及設置于上級過濾腔體(7)內的上級濾芯，其中上蓋板(12)設置于上級過濾腔體(7)的頂部，所述上級排氣口(10)設置于上蓋板(12)上，所述上級濾芯的中心孔與上級排氣口(10)連通，所述中間連接盤(5)上的通孔位于上級濾芯的外側。

3.按權利要求2所述的前置于真空獲得設備的氣體過濾裝置，其特征在于：所述上級濾芯包括上級濾芯骨架(6)、上級濾芯過濾網(13)及濾紙(14)，其中上級濾芯骨架(6)為圓柱形、并外側包覆有濾紙(14)，所述濾紙(14)的外側設有上級濾芯過濾網(13)。

4.按權利要求3所述的前置于真空獲得設備的氣體過濾裝置，其特征在于：所述上級濾芯過濾網(13)和濾紙(14)呈折扇形褶皺。

5.按權利要求2所述的前置于真空獲得設備的氣體過濾裝置，其特征在于：所述上蓋板(12)上設有把手(9)和壓力表(11)。

6.按權利要求2所述的前置于真空獲得設備的氣體過濾裝置，其特征在于：所述上蓋板(12)通過卡箍Ⅱ(8)安裝在上級過濾腔體(7)的頂部。

7.按權利要求1所述的前置于真空獲得設備的氣體過濾裝置，其特征在于：所述上級過濾器(A)和下級過濾器(B)通過卡箍Ⅰ(4)連接。

8.按權利要求7所述的前置于真空獲得設備的氣體過濾裝置，其特征在于：所述下級過濾器(B)的底部設有腳輪(15)。

9.按權利要求1-8任一項所述的前置于真空獲得設備的氣體過濾裝置，其特征在于：所述下級進氣口(2)與被抽氣體源連接，所述上級排氣口(10)與真空泵連接。