[發明專利]用于光泵浦源的表面放電玻璃基板及其制備方法

有效

• 申請號: 201410631471.2
• 申請日: 2014-11-11
• 公開（公告）號: CN104385721A
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發明（設計）人: 李俊生;魏秋平;黃超;程海峰;周永江;羅浩;童思超
• 申請（專利權）人: 中國人民解放軍國防科學技術大學
• 主分類號: B32B17/06
• 分類號: B32B17/06;B32B33/00;C03C17/22
• 代理公司: 長沙朕揚知識產權代理事務所(普通合伙) 43213
• 代理人: 楊斌

1.一種用于光泵浦源的表面放電玻璃基板，其特征在于，所述玻璃基板包括石英玻璃本體和沉積于石英玻璃本體上的金剛石耐燒蝕涂層，且所述金剛石耐燒蝕涂層僅沉積在石英玻璃本體表面將產生表面放電的區域。

2.根據權利要求1所述的表面放電玻璃基板，其特征在于，所述金剛石耐燒蝕涂層的厚度為140.0μm～200.0μm。

3.根據權利要求1或2所述的表面放電玻璃基板，其特征在于，所述金剛石耐燒蝕涂層的表面電阻為1.0×10¹³Ω·cm～9.9×10¹³Ω·cm。

4.一種如權利要求1～3中任一項所述的用于光泵浦源的表面放電玻璃基板的制備方法，包括以下步驟：

(1)配制含金剛石粉的懸濁液；

(2)使用上述懸濁液，對石英玻璃本體表面進行研磨處理，隨后超聲振蕩預處理；

(3)對石英玻璃本體不產生表面放電的區域進行遮擋；

(4)在石英玻璃本體的表面熱絲化學氣相沉積金剛石耐燒蝕涂層，得到表面放電玻璃基板。

5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于：所述步驟(1)中，懸濁液是由質量比為80～85∶14～22∶1～2的有機溶劑、金剛石粉和碳酸鎂混合而成。

6.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于：所述有機溶劑為無水乙醇、丙酮或二甲苯。

7.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于：所述步驟(1)中，選用的金剛石粉的粒徑為1.0μm～5.0μm。

8.根據權利要求4～7中任一項所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(2)中，研磨處理的具體操作包括：先用至少80目的砂紙對石英玻璃本體表面進行打磨，然后在至少400目的砂紙上使用步驟(1)中配制的懸濁液在同一區域進行再打磨；將再打磨后的石英玻璃本體依次置于異丙醇、無水乙醇和步驟(1)配制的懸濁液中進行超聲振蕩，且在懸濁液中的超聲振蕩時間不少于10min。

9.根據權利要求4～7中任一項所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(3)中，熱絲化學氣相沉積的工藝條件包括：沉積溫度為700℃～800℃，沉積氣壓為2.0kPa～4.0kPa，沉積碳源濃度為2.0％～4.0％，氣體總流量為30.0sccm～50.0sccm，燈絲基體距離為1.0mm～1.5mm，沉積速率為3.0μm/h～5.0μm/h。

10.根據權利要求4～7中任一項所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(3)中，碳源選自甲烷、乙烯、乙炔中的一種以及氫氣，氣體純度均大于99.9％。