[發明專利]一種高真空抽氣系統

在審

• 申請號: 201410629596.1
• 申請日: 2014-11-07
• 公開（公告）號: CN105626479A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發明（設計）人: 陳閨艷
• 申請（專利權）人: 陳閨艷
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14;F04B39/00;F04B39/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及抽氣系統，尤其屬于真空抽氣系統。

背景技術

目前在真空生產線中，一條生產線往往需要幾十個甚至上百個相互獨立的真空腔室，真空腔室內的氣體經抽氣泵抽出進入兩側的支管,再由兩側支管匯合進入主管,由前級抽氣泵排出，這樣涉及到抽氣泵連接的支管與主管連接的問題，現有技術中往往是主管位于高于真空腔室的上蓋，抽氣泵連接支管與主管通過金屬軟管進行連接，這樣一方面每個真空腔室在需要打開或蓋上上蓋時都需要將抽氣泵連接的支管與主管的金屬軟管進行手工拆卸，由于一條生產線往往需要幾十個甚至上百個相互獨立的真空腔室，這樣需要花費大量的時間來進行抽氣泵連接的支管與主管的金屬軟管的拆裝工作，從而大大影響了生產效率，而且也浪費了大量的能源，不僅造成生產成本大大提高，而且也不利于環保；另一方面，抽氣泵連接的支管與主管管內真空度較高，對連接處的密封要求較高，現有技術的設置往往導致連接處漏氣。

發明內容

本發明的目的是，為了克服現有技術的缺陷與不足，提供一種結構簡單、安裝方便、氣密性能好、不容易漏氣的高真空抽氣系統。

本發明的目的可以通過采取以下技術方案達到：

一種高真空抽氣系統，包括本體、本體蓋板、抽氣泵、首部氣管和尾部氣管組成，所述抽氣泵固定在本體蓋板上，所述的抽氣泵與首部氣管一端連接，首部氣管和尾部氣管一端都具有與水平面平行的首部氣管接頭和尾部氣管接頭，首部氣管接頭水平面與本體上表面平齊或低于本體上表面，當所述的本體蓋板蓋在本體上時，所述的首部氣管和尾部氣管在所述首部氣管接頭和尾部氣管接頭處形成氣密性連接。

作為本發明專利的優選實施例，所述的尾部氣管通過金屬軟管與首部氣管接頭連接，所述的首部氣管接頭沿圓周方向有圓環型槽，圓環型槽內放置有氣密封墊，所述的尾部氣管通過金屬軟管與尾部氣管接頭連接，當所述的本體蓋板蓋在本體上時,首部氣管接頭和尾部氣管接頭形成氣密性連接。并且首部氣管接頭和尾部氣管接頭結合面與本體和本體蓋板結合面平齊。

與現有技術相比較，本發明具有以下優點：

一、采用本發明專利高真空抽氣系統，拆裝本體蓋板時不需要人工來拆裝尾部氣管與首部氣管的連接裝置，由于一條生產線往往需要幾十個甚至上百個相互獨立的真空腔室，這樣可以節省用來進行首部氣管與尾部氣管的拆裝工作的大量時間，從而大大提高了生產效率。

二、由于本發明專利泵高真空抽氣系統使得與尾部氣管連接的首部氣管接頭水平，當所述的本體蓋板蓋在本體上時,首部氣管接頭靠重力的作用形成氣密性連接，而且在抽真空的過程中，由于尾部氣管和首部氣管都具有一定的真空度，這樣首部氣管接頭和尾部氣管接頭靠大氣壓力自然形成更為緊固的密封。

附圖說明

圖1是本發明高真空抽氣系統的整體結構圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本發明的具體實施方式作詳細描述。

如圖1所示，本發明高真空抽氣系統包括本體2、本體蓋板1、抽氣泵3、首部氣管4和尾部氣管5組成，尾部氣管5低于本體蓋板1，尾部氣管5通過金屬軟管6與首部氣管接頭7連接，首部氣管接頭7沿圓周方向有圓環型槽，圓環型槽內放置有氣密封墊，所述的首部氣管4通過金屬軟管8與尾部氣管接頭9連接，當所述的本體蓋板蓋1蓋在本體2上時,由于尾部氣管接頭9和首部氣管接頭7結合面與本體和本體蓋板結合面平行即與水平面平行，尾部氣管接頭7依靠首部氣管4及本體蓋板1的重力壓在首部氣管接頭7上，同時，首部氣管接頭7沿圓周方向有圓環型槽，圓環型槽內放置有氣密封墊，因此，首部氣管接頭7和第尾部氣管接頭9不需要任何的機械連接即可形成氣密性連接,使得吊裝本體蓋板非常方便，這樣，對于一條生產線往往需要幾十個甚至上百個相互獨立的真空腔室，可以節省用來進行尾部氣管5與首部氣管4拆裝工作的大量時間，從而大大提高了生產效率，而且也節約了大量的能源，不僅使得生產成本大大降低，而且也有利于環保。

同時，在抽空的過程中，首部氣管4和尾部氣管5具有一定的真空度，首部氣管接頭7和尾部氣管接頭9的接觸面靠大氣的壓力會越吸越緊，不會產生漏氣的問題，這樣，很好地解決了目前現有技術的容易漏氣的難題。

以上所揭露的僅為本發明的較佳實施例而已,當然不能以此來限定本發明之權利范圍,因此，依本發明申請專利范圍所作的等同變化,仍屬本發明所涵蓋的范圍。