[發(fā)明專利]放氣系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410629532.1
• 申請日: 2014-11-10
• 公開（公告）號: CN104455617A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 薛輝;任俊春;金海濤
• 申請（專利權(quán)）人: 蕪湖真空科技有限公司
• 主分類號: F16K24/04
• 分類號: F16K24/04
• 代理公司: 北京潤平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11283
• 代理人: 孫向民;董彬

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種放氣裝置，具體地，涉及一種放氣系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有技術(shù)中，對于真空室進行放氣的系統(tǒng)常常會因為放氣打壞基片，對于基片來說，由于每次放氣都會產(chǎn)生很大的氣壓層會產(chǎn)生很大的氣流，對于基片來說，很容易就被打壞了。那么設(shè)計一種新的放氣系統(tǒng)成為一種亟需解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是克服了現(xiàn)有技術(shù)中的放氣系統(tǒng)容易打壞基片的問題，提供一種放氣系統(tǒng)，該放氣系統(tǒng)可以在不破壞基片的前提下快速把系統(tǒng)回復到大氣狀態(tài)。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種放氣系統(tǒng)，該放氣系統(tǒng)包括：放氣閥、緩沖板、鎖室以及蓋板，其中，所述蓋板用于封閉所述鎖室，所述放氣閥貫穿所述蓋板并能夠控制打開或關(guān)閉；所述緩沖板固接于所述鎖室的內(nèi)部，且止擋所述放氣閥沖入的氣體。

優(yōu)選地，該放氣系統(tǒng)還包括：過濾器，所述過濾器設(shè)置于所述放氣閥中。

優(yōu)選地，所述放氣閥設(shè)置為多個，且多個所述放氣閥均勻分布在所述鎖室的外表面上。

優(yōu)選地，該放氣系統(tǒng)包括：儲氣罐，所述儲氣罐中的空氣能夠通過所述放氣閥進入所述鎖室中。

優(yōu)選地，所述空氣為干燥空氣。

優(yōu)選地，所述放氣閥設(shè)置為可調(diào)節(jié)放氣閥。

優(yōu)選地，該放氣系統(tǒng)還包括：引導管，所述引導管的一端連通于所述放氣閥，另一端將沖入的氣體引導至所述緩沖板上。

通過上述實施方式，本發(fā)明的放氣系統(tǒng)可以選擇性地實現(xiàn)快速放氣，空氣通過手動調(diào)節(jié)的放氣閥進入鎖室，充分調(diào)節(jié)這個放氣閥，就可以在不破壞基片的前提下快速地把系統(tǒng)的氣壓回復到大氣狀態(tài)。放氣閥直接安裝在蓋板上，它把充入的氣體直接引導到緩沖板上，緩沖板固定在蓋板的內(nèi)側(cè)，它的作用是把空氣均勻地分布在真空室的每一個室壁上。

本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點將在隨后的具體實施方式部分予以詳細說明。

附圖說明

附圖是用來提供對本發(fā)明的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中：

圖1是說明本發(fā)明的放氣系統(tǒng)的具體實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標記說明

1?放氣閥?2?緩沖板

3?鎖室???4?蓋板

5?基片???6?驅(qū)動系統(tǒng)。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式進行詳細說明。應(yīng)當理解的是，此處所描述的具體實施方式僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。

在本發(fā)明中，在未作相反說明的情況下，使用的方位詞如“上、下、左、右”通常是指附圖所述的上下左右。“內(nèi)、外”是指具體輪廓上的內(nèi)與外。“遠、近”是指與某個部件相對的遠近。

本發(fā)明提供一種放氣系統(tǒng)，該放氣系統(tǒng)包括：放氣閥1、緩沖板2、鎖室3以及蓋板4，其中，所述蓋板4用于封閉所述鎖室3，所述放氣閥1貫穿所述蓋板4并能夠控制打開或關(guān)閉；所述緩沖板2固接于所述鎖室3的內(nèi)部，且止擋所述放氣閥1沖入的氣體。

通過上述實施方式，本發(fā)明的放氣系統(tǒng)可以選擇性地實現(xiàn)快速放氣，空氣通過手動調(diào)節(jié)的放氣閥1進入鎖室，充分調(diào)節(jié)這個放氣閥1，就可以在不破壞基片5的前提下快速地把系統(tǒng)的氣壓回復到大氣狀態(tài)。放氣閥1直接安裝在蓋板4上，它把充入的氣體直接引導到緩沖板2上，緩沖板2固定在蓋板4的內(nèi)側(cè)，它的作用是把空氣均勻地分布在鎖室3的每一個室壁上。

以下結(jié)合附圖1對本發(fā)明進行進一步的說明，在本發(fā)明中，為了能夠盡量的避免基片5的損壞，我們通過以下方式來更好地實現(xiàn)。

在本發(fā)明的一種具體實施方式中，在生產(chǎn)過程中，由于有抽真空和放氣的過程，但是，對于放入的氣，由于不確定性，很有可能放入了污染性的氣體，對產(chǎn)品的成型有很大的影響，為了克服這個問題，該放氣系統(tǒng)還包括：過濾器，所述過濾器設(shè)置于所述放氣閥1中，過濾器保證了空氣中沒有微小顆粒。

在該種實施方式中，為了實現(xiàn)本發(fā)明的宗旨，實現(xiàn)將空氣均勻地分布在鎖室3中，所述放氣閥1設(shè)置為多個，且多個所述放氣閥1均勻分布在所述鎖室3的外表面上。

在該種實施方式中，該放氣系統(tǒng)包括：儲氣罐，所述儲氣罐中的空氣能夠通過所述放氣閥1進入所述鎖室3中，通過上述的實施方式，在本發(fā)明中，可以銅鼓哦在儲氣罐中防止干燥的空氣，這樣當氣體進入的時候，一方面可以減小內(nèi)外的壓差，另一方面也避免潮濕空氣的進入，影響到本發(fā)明中的基片5的生產(chǎn)。

在該種實施方式中，為了實現(xiàn)上述的功能，所述空氣為干燥空氣，也可以防止放氣閥1接觸潮濕空氣后靈明度受到影響。