[發明專利]一種帶有支撐結構的空間反射鏡失重面形的檢測方法

有效

• 申請號: 201410621298.8
• 申請日: 2014-11-06
• 公開（公告）號: CN104296689A
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發明（設計）人: 張媛媛;陳小安;何達;曾慶娜;程云濤;劉紅;方敬忠
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 楊學明;顧煒

1.一種帶有支撐結構的空間反射鏡失重面形的檢測方法，其特征在于：包括如下步驟：

步驟1)、將反射鏡(2)通過支撐結構(3)與基座(4)相連，利用Zygo干涉儀(1)對反射鏡(2)進行光學面形檢測，得到面形數據為D1；

步驟2)、保持反射鏡(2)、支撐結構(3)和基座(4)的連接狀態不變，將整體旋轉180°后，再次測量反射鏡的光學面形，得到的面形數據為D2'；

步驟3)、以D1數據坐標系作為參考坐標系，將面形數據D2'進行坐標轉換得到面形數據D2；

步驟4)、將兩次測量的面形數據按照公式(D1+D2)/2進行數據處理，得到面形數據D3，即為帶有支撐結構(3)的反射鏡(2)的失重面形。

2.根據權利要求1所述的一種帶有支撐結構的空間反射鏡失重面形的檢測方法，其特征在于：所述步驟1)、步驟2)中的面形數據D1、D2'均為去除平移項、傾斜項像差后的數據。

3.根據權利要求1所述的一種帶有支撐結構的空間反射鏡失重面形的檢測方法，其特征在于：所述步驟1)中的反射鏡包括任意形狀、任何結構的反射鏡，包括長條形鏡、圓形鏡、橢圓形鏡、多邊形鏡、實心鏡或輕質鏡。

4.根據權利要求1所述的一種帶有支撐結構的空間反射鏡失重面形的檢測方法，其特征在于：所述步驟1)中的支撐結構(3)為Bipod柔性支撐，支撐數量可以根據需要選擇多個，支撐結構(3)材料為金屬材料或陶瓷基復合材料包括鈦合金、殷鋼、碳化硅(SiC)或碳化硅(SiC)復合材料。

5.根據權利要求1所述的一種帶有支撐結構的空間反射鏡失重面形的檢測方法，其特征在于：所述步驟1)中的支撐結構(3)可以粘接在反射鏡(2)的任意位置，包括外周、背部、內部區域。