[發(fā)明專利]用于可見-紫外檢測顯微鏡的成像光學系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410620550.3
• 申請日: 2014-11-06
• 公開（公告）號: CN104459966A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發(fā)明（設計）人: 蔡燕民;王向朝;張友寶;步揚;唐鋒;黃惠杰
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G02B21/02
• 分類號: G02B21/02;G02B13/00;G02B1/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純;張寧展

1.一種用于可見-紫外檢測顯微鏡的成像光學系統(tǒng)，從物面到像面沿其光軸方向依次包括第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、…、第十二透鏡、孔徑光闌、第十三透鏡、…、第十八透鏡，其特征在于：

所述的第一透鏡是具有負光焦度并彎向像面的彎月透鏡，所述的第二透鏡、第六透鏡、第八透鏡、第九透鏡、第十一透鏡、第十三透鏡、第十五透鏡、第十七透鏡是雙凸正透鏡，所述的第三透鏡、第五透鏡、第七透鏡、第十透鏡、第十六透鏡是雙凹負透鏡，所述的第四透鏡是具有正光焦度并彎向物面的彎月透鏡，所述的第十二透鏡和第十四透鏡是具有負光焦度并彎向物面的彎月透鏡，所述的第十八透鏡是具有正光焦度并彎向像面的彎月透鏡，

所有十八塊透鏡全部采用OHARA公司高透過率的i線玻璃，共選用6種牌號的玻璃材料，所述的第四透鏡、第八透鏡、第九透鏡、第十一透鏡、第十五透鏡、第十七透鏡選用SFPL51Y玻璃材料，所述的第十四透鏡選用PBL25Y玻璃材料，所述的第五透鏡選用SFSL5Y玻璃材料，所述的第一透鏡、第六透鏡、第七透鏡、第十三透鏡、第十六透鏡采用PBM2Y玻璃材料，所述的第二透鏡、第十透鏡、第十二透鏡、第十八透鏡選用BSM51Y玻璃材料，所述的第三透鏡選用BAL15Y玻璃材料。

2.根據(jù)權利要求1所述的成像光學系統(tǒng)，其特征在于，所述的第一透鏡至第四透鏡組成第一鏡組，其組合焦距為200mm。

3.根據(jù)權利要求1所述的成像光學系統(tǒng)，其特征在于，所述的第五透鏡至第十八透鏡組成第二鏡組，其組合焦距為4mm。

4.根據(jù)權利要求1所述的成像光學系統(tǒng)，其特征在于，從物面到像面的放大倍率為1/50。

5.根據(jù)權利要求1所述的成像光學系統(tǒng)，其特征在于，像方數(shù)值孔徑大于0.50。

6.根據(jù)權利要求5所述的成像光學系統(tǒng)，其特征在于，像方數(shù)值孔徑等于0.85。

7.根據(jù)權利要求1所述的成像光學系統(tǒng)，其特征在于，物方視場半徑大于1.00mm。

8.根據(jù)權利要求7所述的成像光學系統(tǒng)，其特征在于，物方視場半徑等于10.00mm。

9.根據(jù)權利要求1所述的成像光學系統(tǒng)，其特征在于，工作波長范圍為i線、h線和g線，即高壓汞燈的主要三條譜線365.0nm、404.7nm、435.8nm。

10.根據(jù)權利要求1所述的成像光學系統(tǒng)，其特征在于，物像共軛距，即系統(tǒng)總長小于261mm。