[發明專利]一體化燈設備及用于制造所述一體化燈設備的方法

在審

• 申請號: 201410618225.3
• 申請日: 2014-11-05
• 公開（公告）號: CN104633492A
• 公開（公告）日: 2015-05-20
• 發明（設計）人: 李成龍;蔣盛旭;池尙炫;尹斗永
• 申請（專利權）人: AP系統股份有限公司
• 主分類號: F21S2/00
• 分類號: F21S2/00;F21V21/002;F21V23/06;F21V19/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

技術領域

本發明涉及用于加熱目標物體的一體化燈設備及用于制造所述一體化燈設備的方法。

背景技術

熱處理為用于制造半導體、顯示器或其類似物的各種工藝中的基本工藝。歐姆接觸摻混、離子植入損傷退火、摻雜劑活化及形成例如TiN、TiSi2、CoSi2或其類似物等薄膜為需要熱處理的工藝。

執行此熱處理的設備的實例為電爐及快速熱處理(rapid?thermal?process，RTP)設備。因為快速熱處理設備具有以下困難：均一地維持襯底的整個區域的溫度，不論何時替換襯底(晶片)也關于其它襯底維持相同溫度-時間特性，或準確地測量及控制襯底的溫度，所以快速熱處理設備尚未處于公眾注意的中心，但根據溫度測量技術及溫度控制技術中的最新進展已替換了電爐。

快速熱處理設備通過使用鹵鎢燈的輻射光線將熱轉移到襯底。因此，快速熱處理設備配備有加熱塊(heating?block)，及安置于加熱塊的側表面當中面向襯底的側表面上的多個燈。

圖1為說明其中燈與可分離的燈絲組件(separable?filament?assembly)的插口分離的形狀的視圖，且圖2為說明其中將用于快速熱處理設備中的可分離的燈絲組件插入到安裝于加熱器外殼上的插口中的形狀的視圖。

可分離的燈絲組件包含安裝于加熱器外殼1上的插口10，及可與插口10分離的燈20。插口10安裝于加熱器外殼1的上部末端的安裝表面上，從而執行用于將加熱器外殼1的內部與加熱器外殼1的外部隔離的密封功能。而且，插口10執行用于固定插入于其中的燈20的功能。經由外部導電線(outside?conductive?wire)將電力供應到插口10，以將電力供應到插入到插口10中的燈20的電源插頭。燈20包含：燈絲保護套管23，其維持內部空間處于鹵素氣體狀態；鎢燈絲22，其在燈絲保護套管23內部產生熱；及導電線保護套管21，其保護連接電源插頭與燈絲22的導電線。

然而，如上文所描述的經配置以使得插口10及燈20彼此分離的可分離的燈絲組件具有以下問題。

首先，在插口10及燈20彼此耦合時，存在耦合困難的問題。也就是說，在操作員將燈20插入到插口10中及固定到插口10時，會出現其中燈20變形的現象，及使得隨著時間的過去燈20因燈20的裝載逐漸與插口10分離的現象。此外，在燈20固定時，歸因于加工公差(machining?tolerance)在安裝燈20時存在困難。

其次，在插口10及燈20彼此耦合或彼此解耦時，存在燈絲保護套管23容易打破的問題。也就是說，在操作員將燈20與插口10解耦時，因為操作員通過使用夾具且向下拉動燈絲保護套管23來握住具有“T”形狀的燈絲保護套管23，所以存在由石英材料制成的燈絲保護套管23可被由操作員施加的夾具力破壞。此外，在將燈20安裝到插口10中時，因為握住燈絲保護套管23，且通過施加向上的力將其插入到插口10中，所以燈絲保護套管23也可被所施加的力破壞。

第三，存在保護導電線的導電線保護套管21的外部部分因燈絲22中產生的熱而碳化的問題。也就是說，存在在燈絲保護套管23與導電線保護套管21之間的邊界上的外圓周表面可因熱而碳化的問題。

【現有技術文獻】

【專利文獻】

(專利文獻1)第1,031,226號韓國專利

發明內容

本發明提供一種一體化燈組件及一種用于制造所述一體化燈組件的方法，其能夠解決其中燈變形的現象及在將燈安裝于插口上時安裝操作中的困難。本發明也提供一種一體化燈組件及一種用于制造所述一體化燈組件的方法，其能夠基本上解決燈絲保護套管在燈安裝于插口上或與插口分離時受到破壞的問題。本發明還提供一種一體化燈組件及一種用于制造所述一體化燈組件的方法，其能夠改進其中導電線保護套管因熱而碳化的現象。

根據示范性實施例，一體化燈設備包含：燈絲組件，其具備產生熱的燈絲；耐熱加固部件，其一端固定地耦合到所述燈絲組件；導電線保護套管，其一端固定地耦合到所述耐熱加固部件的另一端；固定部件，其固定地耦合到所述導電線保護套管的另一端；以及導電線，其一端電連接到所述燈絲組件，且順序地穿過所述耐熱加固部件、所述導電線保護套管及所述固定部件，且其另一端從所述固定部件伸出。