[發(fā)明專利]一種測量自由曲面面型的裝置和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410616937.1 | 申請日: | 2014-11-05 |
| 公開(公告)號: | CN104315993A | 公開(公告)日: | 2015-01-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 劉儉;譚久彬;王紅婷 | 申請(專利權(quán))人: | 哈爾濱工業(yè)大學 |
| 主分類號: | G01B11/24 | 分類號: | G01B11/24 |
| 代理公司: | 哈爾濱市偉晨專利代理事務所(普通合伙) 23209 | 代理人: | 張偉 |
| 地址: | 150001 黑龍*** | 國省代碼: | 黑龍江;23 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 測量 自由 曲面 裝置 方法 | ||
1.一種測量自由曲面面型的裝置,其特征在于,包括:
電致發(fā)光膜照明部分和光學成像測量部分(9);
所述的電致發(fā)光膜照明部分由待測樣品(1)、鍍在樣品(1)表面的電致發(fā)光薄膜(2)成,所述的電致發(fā)光薄膜(2)上有微電極;
所述的光學成像測量部分(9)沿收集光信號傳播方向依次設(shè)置物鏡(3)、濾光片(4)、管鏡(5)、分光鏡(6)、第一CCD(7)和第二CCD(8);
所述的第一CCD(7)和第二CCD(8)對稱離焦放置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量自由曲面面型的裝置,其特征在于,所述的電致發(fā)光薄膜由厚度均勻的陰極層、發(fā)光層和透明陽極層組成,總厚度不超過4μm,發(fā)光層厚度不超過1μm,所述的發(fā)光層為有機物層,由電子傳輸層、單色有機發(fā)光層和空穴注入層組成,所述的陰極層、發(fā)光層和透明陽極層均為單個封閉區(qū)域;所述的微電極的正極連接透明陽極層,負極連接陰極層。
3.一種在權(quán)利要求1所述的測量自由曲面面型的裝置上實現(xiàn)的測量自由曲面面型的方法,其特征在于,包括以下步驟:
第一步,在待測樣品(1)表面生成電致發(fā)光薄膜(2),所述的電致發(fā)光薄膜由厚度均勻的陰極層、發(fā)光層和透明陽極層組成,總厚度不超過4μm,發(fā)光層厚度不超過1μm,所述的發(fā)光層為有機物層,由電子傳輸層、單色有機發(fā)光層和空穴注入層組成,所述的陰極層、發(fā)光層和透明陽極層均為單個封閉區(qū)域;電致發(fā)光薄膜(2)上有微電極,所述的微電極的正極連接透明陽極層,負極連接陰極層;
第二步,給微電極通直流電,使電致發(fā)光薄膜發(fā)光,完成待測樣品(1)表面電致發(fā)光膜的發(fā)光工作;調(diào)節(jié)物鏡(3)與樣品(1)之間的距離,設(shè)置物鏡(3)總運動行程a,物鏡(3)步進距離b,令變量i等于0;
第三步,令物鏡(3)沿軸向運動一個距離b;
第四步,兩個CCD拍攝圖像,獲取二維數(shù)據(jù)Dxym和Dxyn;
第五步,將Dxym和Dxyn做差,獲取二維數(shù)據(jù)Dxyi,并令變量i加1;
第六步,判斷i*b是否大于或等于a,如果是則進入第七步,否則重復第三步到第五步;
第七步,將所有軸向位置測量所得的二維數(shù)據(jù)Dxyi組成三維矩陣,對于每個像素點xy沿z抽取一維數(shù)組,找到該數(shù)組中零點,并記錄該零點所對應的軸向位置;
第八步,所有xy像素所記錄的軸向位置及xy像素對應的位置組合,從而重構(gòu)出樣品(1)表面面型。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測量自由曲面面型的方法,其特征在于,還包括第九步,清洗掉待測樣品(1)表面的電致發(fā)光薄膜(2)。
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