[發(fā)明專利]一種提高單重態(tài)氧產(chǎn)率用的碘氧化物制備裝置及其應(yīng)用

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201410616570.3
• 申請日: 2014-11-05
• 公開（公告）號: CN105621362A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李留成;多麗萍;金玉奇;唐書凱;李國富;王元虎;于海軍;汪健;曹靖;康元福
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所
• 主分類號: C01B11/22
• 分類號: C01B11/22;H01S3/09
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 馬馳

1.一種用于提高單重態(tài)氧產(chǎn)率的碘氧化物制備裝置，其特征在于：包括 氧氣供氣系統(tǒng)(1)、碘氣供氣系統(tǒng)(2)、低溫等離子體放電腔(3)、碘氣噴注 器(4)、碘氧化物沉積腔(5)、真空抽氣系統(tǒng)(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碘氧化物制備裝置，其特征在于：氧氣供氣系統(tǒng) (1)、低溫等離子體放電腔(3)、碘氧化物沉積腔(5)和真空抽氣系統(tǒng)(6) 依次順序連接；氧氣從氧氣供氣系統(tǒng)(1)出來后，依次通過低溫等離子體放電 腔(3)、碘氧化物沉積腔(5)、真空抽氣系統(tǒng)(6)；

碘氣供氣系統(tǒng)(2)和碘氣噴注器(4)直接相連，連接管為的聚四氟乙烯 管，碘氣從碘氣供氣系統(tǒng)(2)流向碘氣噴注器(4)；

碘氣噴注器(4)的頭部插入碘氧化物沉積腔(5)的內(nèi)部，并可以前后移 動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碘氧化物制備裝置，其特征在于：氧氣供氣系統(tǒng) (1)由氧氣瓶、減壓閥、氣體質(zhì)量流量計依次連接構(gòu)成，連接管為不銹鋼管。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碘氧化物制備裝置，其特征在于：碘氣供氣系統(tǒng) (2)由氦氣瓶、減壓閥、碘固體池、氣體質(zhì)量流量計依次連接構(gòu)成，連接管為 聚四氟乙烯管。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碘氧化物制備裝置，其特征在于：

低溫等離子放電腔(3)的腔體為圓柱形玻璃管，長度為10-20厘米，外 徑8-20毫米，壁厚1-1.5毫米，使用射頻介質(zhì)阻擋放電的形式進行無聲放電， 電壓1000-1500伏，放電功率30-50瓦。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碘氧化物制備裝置，其特征在于：碘氣噴注器(4) 由內(nèi)部中空的兩段圓柱狀玻璃管組成，分別是頭部和主體部分，頭部的前端密 封，頭部深入碘氧化物沉積腔(5)的內(nèi)部，頭部的外徑為10-20毫米，頭部的 長度為5-15毫米，主體部分通過聚四氟乙烯管與碘氣供氣系統(tǒng)(2)相連；主 體部分的外徑為6-8毫米，主體部分的長度為30-50厘米；

碘氣噴注器(4)與碘氧化物沉積腔(5)同軸，并能夠沿軸前后移動，頭 部的曲面設(shè)置有分布均勻的通孔，通孔直徑為0.5-1毫米，孔個數(shù)為6-12個， 碘氣體從通孔噴出，噴射方向垂直于碘氧化物沉積腔(5)的器壁。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碘氧化物制備裝置，其特征在于：碘氧化物沉積 腔(5)的整個腔體為圓柱狀玻璃管，玻璃管的長度為20-60厘米，壁厚1-2毫 米，碘氧化物沉積腔(5)的內(nèi)直徑比碘氣噴注器(4)頭部的外直徑大10-15 毫米，以保證碘氣噴注器(4)能夠在碘氧化物沉積腔(5)內(nèi)移動，碘氧化物 沉積腔(5)與低溫等離子體放電腔(3)垂直連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或7所述的碘氧化物制備裝置，其特征在于：制備碘氧 化物時，碘氧化物沉積腔(5)內(nèi)氣體溫度為300-450K，氣體壓力為1.5-3Torr。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碘氧化物制備裝置，其特征在于：真空抽氣系統(tǒng) (6)由真空球閥和機械泵直接連接構(gòu)成，使得整個裝置的真空度不大于1.5Torr， 裝置內(nèi)的氣體通過真空球閥后被機械泵抽走。

10.一種權(quán)利要求1所述碘氧化物制備裝置的應(yīng)用，其特征在于：所述裝 置可用于放電氧碘激光器。