[發明專利]一種圓形平面陰極與圓臺、柱形組合柵孔對應的冷陰極電子槍

有效

• 申請號: 201410615905.X
• 申請日: 2014-11-05
• 公開（公告）號: CN104319215A
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 朱卓婭;于彩茹;狄云松;張曉兵;王琦龍
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: H01J29/48
• 分類號: H01J29/48
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種圓形平面陰極與圓臺、柱形組合柵孔對應的冷陰極電子槍，包括陰極、柵極(3)、第一陽極(8)和第二陽極(10)，所述陰極包括陰極基板(1)和制作在陰極基板(1)上表面的場發射陰極(2)，所述柵極(3)設置在陰極和第一陽極(8)之間，在柵極(3)上設置有與場發射陰極(2)對應的柵孔(7)；其特征在于：所述陰極基板(1)上表面對應柵孔(7)的位置設置有圓臺狀突起結構，所述場發射陰極(2)覆蓋住圓臺狀突起結構的上表面，形成圓形平面陰極；所述柵孔(7)的內徑沿其軸向先減小后不變再增大，形成上下兩個燕尾與中間柱形柵孔過渡對接的結構；以柱形柵孔極板上下底面為橫截面，將柵極(3)分為上中下三部分，靠近第一陽極(8)的一側稱為上極板(6)，靠近陰極的一側稱為下極板(4)，以及中間的柱形柵孔極板(5)。

2.根據權利要求1所述的圓形平面陰極與圓臺、柱形組合柵孔對應的冷陰極電子槍，其特征在于：所述第一陽極孔(9)的內徑，沿其軸向逐漸減小，形成圓臺狀第一陽極孔結構。

3.根據權利要求1或2所述的圓形平面陰極與圓臺、柱形組合柵孔對應的冷陰極電子槍，其特征在于：所述場發射陰極(2)覆蓋住圓臺狀突起結構的上表面部位。

4.根據權利要求1或2所述的圓形平面陰極與圓臺、柱形組合柵孔對應的冷陰極電子槍，其特征在于：所述場發射陰極(2)采用物理沉積、化學氣相沉積、絲網印刷或電弧方法制作在陰極基板(1)上表面上。

5.根據權利要求1所述的圓形平面陰極與圓臺、柱形組合柵孔對應的冷陰極電子槍，其特征在于：所述場發射陰極(2)為納米材料冷陰極、場發射陰極薄膜或場發射微尖陣列。

6.根據權利要求1所述的圓形平面陰極與圓臺柵孔對應的冷陰極電子槍，其特征在于：所述場發射陰極(2)的材料為碳納米管、納米氧化鋅、石墨烯中的一種或兩種以上的混合。