[發明專利]一種石墨烯的化學圖形化方法

在審

• 申請號: 201410607577.9
• 申請日: 2014-11-03
• 公開（公告）號: CN104317162A
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 潘洪亮;崔華亭;史浩飛;余崇圣;鐘達
• 申請（專利權）人: 重慶墨希科技有限公司;中國科學院重慶綠色智能技術研究院
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 朱振德

1.一種石墨烯的化學圖形化方法，其特征在于：包括以下步驟：

1）在石墨烯表面涂抹光阻材料；

2）將步驟1）得到的光阻材料-石墨烯復合材料曝光顯影，得到需要的圖形；

3）將步驟2）得到的曝光顯影后的光阻材料-石墨烯復合材料送入反應裝置，將顯影暴露的石墨烯轉變為石墨烷；

4）去除步驟3）得到的復合材料上的光阻材料，得到圖形化的石墨烯。

2.根據權利要求1所述的石墨烯的化學圖形化方法，其特征在于：所述步驟1）中，石墨烯為生長基體上生長后轉移到目標基體上的石墨烯。

3.根據權利要求2所述的石墨烯的化學圖形化方法，其特征在于：所述步驟1）中，生長基體為銅、鎳、鐵或鋁。

4.根據權利要求2所述的石墨烯的化學圖形化方法，其特征在于：所述步驟1）中，目標基體為聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、石英、聚乙烯或聚甲基丙烯酸甲酯。

5.根據權利要求1所述的石墨烯的化學圖形化方法，其特征在于：所述步驟1）中，光阻材料為正膠、負膠或反轉膠。

6.根據權利要求1所述的石墨烯的化學圖形化方法，其特征在于：所述步驟3）中，將顯影暴露的石墨烯轉變為石墨烷的具體方法為：將材料放入高能反應腔中，用氬氣沖洗反應腔，將反應腔中的空氣排出，再在反應腔中注入氫氣和氬氣的混合氣體，打開反應腔，反應30分~4小時直至達到飽和狀態，取出即可。

7.根據權利要求6所述的石墨烯的化學圖形化方法，其特征在于：所述步驟3）中，高能反應腔為等離子體或紫外線反應腔。

8.根據權利要求6所述的石墨烯的化學圖形化方法，其特征在于：所述步驟3）中，氫氣和氬氣的混合氣體中氫氣的體積比為5%~20%。