[發明專利]一種掩模與基底六自由度對準裝置

有效

• 申請號: 201410607056.3
• 申請日: 2014-10-30
• 公開（公告）號: CN104331116A
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發明（設計）人: 李金龍;胡松;趙立新
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G05G13/00
• 分類號: G05G13/00
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 楊學明;賈玉忠

1.一種掩模與基底六自由度對準裝置，其特征在于：所述對準裝置含有掩模、掩模支架、彈性簧片、壓簧片、壓簧預緊、Y手輪、拉簧預緊、基底、基底支架、X手輪、基座、壓緊螺釘，其中：

掩模支架為圓盤形狀，用于承載掩模；彈性簧片具有內環及三個凸起，內環通過螺釘與掩模支架連接，三個凸起通過螺釘與基座凸面連接；壓簧片一端與基座支撐面通過螺釘連接，另一端壓在基底支架肩面上；壓簧預緊與基座支撐面通過螺釘連接并與基底支架相切；Y手輪包括Y1手輪及Y2手輪，與基座支撐面通過螺釘連接并與基底支架相切；拉簧預緊一端與基座支撐面通過螺釘連接，另一端與基底支架通過螺釘連接；基底支架為凸字形結構具有基底支架肩面和基底支架頂面，基底支架位于基座滑移面上，基底支架頂面與基底固接使兩者一起運動；X手輪與基座支撐面通過螺釘連接并與基底支架相切；基座為圓柱形結構，含有基座凸面、基座支撐面、基座滑移面；壓緊螺釘將彈性簧片與基座連接。

2.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于：所述掩模支架為圓盤形狀，用于承載掩模。

3.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于：所述彈性簧片具有內環及三個凸起，內環通過螺釘與掩模支架連接，三個凸起通過螺釘與基座凸面連接。

4.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于：所述壓簧片與基座支撐面通過螺釘連接，并對基底支架施加預壓力。

5.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于：所述壓簧預緊與基座支撐面通過螺釘連接并與基底支架相切，用于提供基底支架X方向預壓。

6.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于：所述Y手輪包括Y1手輪及Y2手輪，與基座支撐面通過螺釘連接并與基底支架相切，用于調節基底支架的Y向移動及θz向轉動。

7.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于：所述拉簧預緊一端與基座支撐面通過螺釘連接，另一端與基底支架通過螺釘連接，用于提供基底支架Y向預壓。

8.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于：所述基底支架為凸字形結構具有基底支架肩面和基底支架頂面，基底支架位于基座滑移面上，基底支架頂面與基底固接使兩者一起運動。

9.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于：所述X手輪與基座支撐面通過螺釘連接并與基底支架相切，用于調節基底支架的X方向運動。

10.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于：所述基座為圓柱形結構，含有基座凸面、基座支撐面、基座滑移面。

11.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于：所述壓緊螺釘將彈性簧片與基座連接，通過調整三個壓緊螺釘可完成掩模的Z向升降及θ_x、θ_y向調平。