[發(fā)明專利]一種多光束準同步激光封裝裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410603985.7
• 申請日: 2014-11-03
• 公開（公告）號: CN105632944B
• 公開（公告）日: 2018-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱樹存
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: H01L21/56
• 分類號: H01L21/56;H01L51/56
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅

1.一種多光束準同步激光封裝裝置，其特征在于，包括：

一激光光源，用于提供一激光光束；

一雙軸偏轉(zhuǎn)微鏡陣列，所述雙軸偏轉(zhuǎn)微鏡陣列包括若干繞X軸或Y軸轉(zhuǎn)動的微反射鏡面，所述雙軸偏轉(zhuǎn)微鏡陣列用于將所述激光光束分為預(yù)設(shè)形狀的多光束；

一振鏡，包括X向及Y向反射鏡片、掃描偏轉(zhuǎn)電機以及F-theta鏡，所述多光束進入所述振鏡后形成多個封裝光束至一工件表面；

一控制單元，所述控制單元與所述雙軸偏轉(zhuǎn)微鏡陣列和振鏡連接，用于控制所述雙軸偏轉(zhuǎn)微鏡陣列和振鏡輸出。

2.如權(quán)利要求1所述的多光束準同步激光封裝裝置，其特征在于，所述激光光源和所述雙軸偏轉(zhuǎn)微鏡陣列之間還包括一擴束準直鏡。

3.如權(quán)利要求1所述的多光束準同步激光封裝裝置，其特征在于，所述雙軸偏轉(zhuǎn)微鏡陣列和所述振鏡之間還包括一反射鏡和一擴束準直鏡。

4.如權(quán)利要求1所述的多光束準同步激光封裝裝置，其特征在于，所述激光光束以20°角入射在雙軸偏轉(zhuǎn)微鏡陣列表面。

5.一種基于權(quán)利要求1-4中任一項所述的封裝裝備的多光束準同步激光封裝方法，其特征在于，包括：步驟一、根據(jù)封裝單元陣列的幾何信息，設(shè)置一雙軸偏轉(zhuǎn)微鏡陣列的參數(shù)，設(shè)置一振鏡的封裝掃描參數(shù)；步驟二、將一激光光束用所述雙軸偏轉(zhuǎn)微鏡陣列調(diào)制后，進入所述振鏡后形成多個預(yù)設(shè)的封裝光束至一工件表面。

6.如權(quán)利要求5所述的多光束準同步激光封裝方法，其特征在于，所述步驟一進一步包括：根據(jù)封裝單元陣列的幾何信息，對封裝單元陣列進行分組，根據(jù)分組后的封裝單元陣列的幾何信息，設(shè)置所述雙軸偏轉(zhuǎn)微鏡陣列的參數(shù)，設(shè)置所述振鏡的封裝掃描參數(shù)。

7.如權(quán)利要求5所述的多光束準同步激光封裝方法，其特征在于，所述雙軸偏轉(zhuǎn)微鏡陣列的參數(shù)包括分光數(shù)目、光斑尺寸、光斑灰度及位置。

8.如權(quán)利要求5所述的多光束準同步激光封裝方法，其特征在于，所述振鏡的封裝掃描參數(shù)包括掃描起止位置，掃描速度、拐角功率及掃描次數(shù)。