[發明專利]角速度傳感器、電子設備以及移動體

有效

• 申請號: 201410601637.6
• 申請日: 2014-10-30
• 公開（公告）號: CN104596495B
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發明（設計）人: 西澤竜太;中川啓史;清水教史
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5719
• 分類號: G01C19/5719
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

本發明提供一種即使在受到了繞檢測軸的旋轉振動的情況下也能夠抑制由該旋轉振動而引起的輸出的變動的角速度傳感器，此外，本發明還提供一種具備所涉及的角速度傳感器并具有優異的可靠性的電子設備以及移動。本發明的角速度傳感器具備：固定部(221、222)；基部(21)；將基部(21)相對于固定部(221、222)進行支承的梁部(223、224、225、226)；連接于基部(21)的驅動用振動臂(25～26)；連接于基部(21)的檢測用振動臂(23、24)，在將檢測頻帶的寬度設為f1[Hz]，將隨著梁部(223、224、225、226)的變形而基部(21)相對于固定部(221、222)而繞檢測軸進行旋轉振動的旋轉振動模式的諧振頻率設為f2[Hz]，將偏移頻率設為f3[Hz]時，滿足f1＜f2＜f3的關系。

技術領域

本發明涉及一種角速度傳感器、電子設備以及移動體。

背景技術

對角速度進行檢測的角速度傳感器被用于，例如，車輛中的車身控制、車輛導航系統的本車輛位置檢測、數碼照相機或錄像機等的振動控制校正(所謂的手振校正)等。作為所涉及的角速度傳感器，例如已知一種振動陀螺傳感器(例如，參照專利文獻1)。

例如，在專利文獻1中記載的角速度傳感器，具有經由振動體支承梁而相對于框體被支承的振動體。在該角速度傳感器中，通過在使振動體于X軸方向上進行振動(驅動振動)的狀態下，從外部施加繞Z軸的角速度時，在振動體上作用有科里奧利力，從而振動體在Y軸方向上進行位移(檢測振動)。而且，通過對該振動體的Y軸方向的位移量進行檢測，從而對繞Z軸的角速度進行檢測。

并且，在這種的角速度傳感器上，除了成為檢測對象的角速度之外，還存在從外部施加的沖擊，并且由該沖擊引起的振動可能使檢測精度等降低。

因此，在專利文獻1中記載的角速度傳感器中構成有沖擊減弱機構，所述沖擊減弱機構為，框體經由框體支承梁而相對于支承部被支承，并且框體及框體支承梁減弱如下現象，即，沿著振動體的振動方向以及檢測方向中的至少一個方向的沖擊從支承部傳遞至振動體的現象。由此，關于振動體的振動方向以及檢測方向，即使施加于角速度傳感器上的沖擊的波形中包括接近于振動體的諧振頻率的振動，也能夠抑制對檢測精度的影響。

然而，在專利文獻1所記載的角速度傳感器中，在施加有繞Y軸的旋轉振動時，無法減弱該旋轉振動。因此，例如由于在安裝有傳感器的基板的諧振等而施加有包括偏移頻率(驅動振動的模式的諧振頻率和檢測振動的模式的諧振頻率之差)附近的頻率成分的旋轉振動的情況下，將會因檢測振動的諧振而產生超出設想的信號，在對信號進行處理的IC內部信號將會飽和，其結果為，存在輸出發生變動的問題。

專利文獻1：日本特開2001-194157號公報

發明內容

本發明提供一種即使在受到了繞檢測軸的旋轉振動的情況下，也能夠抑制由該旋轉振動而引起的輸出的變動的角速度傳感器，此外，還提供一種具備所涉及的角速度傳感器并具有優異的可靠性的電子設備以及移動體。

本發明是為了解決上述的課題中的至少一部分而完成的發明，并且能夠作為以下的方式或應用例來實現。

應用例1

本發明的角速度傳感器的特征在于，具備：固定部；基部；支承部，其將所述基部相對于所述固定部而進行支承；振動部，其連接于所述基部；檢測部，其連接于所述基部，并通過與繞檢測軸的角速度相應的科里奧利力的作用而進行振動，并且在將檢測頻帶的寬度設為f1[Hz]，將隨著所述支承部的變形而所述基部相對于所述固定部而繞所述檢測軸進行旋轉振動的旋轉振動模式的諧振頻率設為f2[Hz]，將偏移頻率設為f3[Hz]時，滿足f1＜f2＜f3的關系。