[發(fā)明專利]多晶硅氫化尾氣回收系統(tǒng)及尾氣利用方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410593306.2
• 申請(qǐng)日: 2014-10-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104402001A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 牟平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 新疆大全新能源有限公司
• 主分類號(hào): C01B33/107
• 分類號(hào): C01B33/107
• 代理公司: 北京鼎佳達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

1.多晶硅氫化尾氣回收系統(tǒng)，其特征在于，包括：

氯化氫儲(chǔ)罐，存儲(chǔ)來(lái)自精餾塔頂部的低溫氯化氫液體；

吸收塔富液換熱器，所述吸收塔富液換熱器接收吸收塔富液和解析塔的氯化硅貧液，所述吸收塔富液和氯化硅貧液在所述吸收塔富液換熱器內(nèi)換熱；

氯化氫蒸發(fā)器，其管程入口與吸收塔富液換熱器連接，換熱后的氯硅烷貧液進(jìn)入氯化氫蒸發(fā)器的管程，所述氯化氫蒸發(fā)器的殼程入口連接氯化氫儲(chǔ)罐；

氟利昂蒸發(fā)器，連接氯化氫蒸發(fā)器管程的出口，所述氟利昂蒸發(fā)器對(duì)來(lái)自氯化氫蒸發(fā)器管程的氯硅烷貧液制冷后送入吸收塔；

去精餾氯硅烷換熱器，連接氯化氫蒸發(fā)器殼程出口，來(lái)自氯化氫蒸發(fā)器殼程的氯化氫在去精餾氯硅烷換熱器內(nèi)與去精餾的氯硅烷換熱后輸送至三氯氫硅合成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅氫化尾氣回收系統(tǒng)，其特征在于，所述氯化氫蒸發(fā)器的管程的入口與出口通過(guò)第一旁路管道連接，所述第一旁路管道上及第一旁路管道與氯化氫蒸發(fā)器的管程的出入口之間分別設(shè)有閥門(mén)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅氫化尾氣回收系統(tǒng)，其特征在于，所述氯化氫儲(chǔ)罐與氯化氫蒸發(fā)器之間設(shè)有氯化氫流量調(diào)節(jié)閥。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅氫化尾氣回收系統(tǒng)，其特征在于，所述氯化氫蒸發(fā)器的殼程的入口與出口通過(guò)第二旁路管道連接，所述第二旁路管道上及第二旁路管道與氯化氫蒸發(fā)器的殼程的出入口之間分別設(shè)有閥門(mén)。

5.多晶硅氫化尾氣利用方法，其特征在于，包括如下步驟；

來(lái)自解析塔的氯化硅貧液與吸收塔富液換熱；

換熱后的氯化硅貧液作為熱媒與作為冷媒的低溫氯化氫液體進(jìn)行熱交換；

與氯化氫液體換熱后的氯化硅貧液經(jīng)深冷后用做吸收塔吸收劑吸收分離氫化反應(yīng)中產(chǎn)生的氯化氫氣體；

與氯化硅貧液換熱后的氯化氫作為冷媒與作為熱媒的去精餾車間的氯硅烷再次換熱后送至三氯氫硅合成。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多晶硅氫化尾氣利用方法，其特征在于，與氯化硅貧液換熱的氯化氫液體的流量根據(jù)氫化反應(yīng)過(guò)程中產(chǎn)生的氯化氫量來(lái)調(diào)節(jié)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多晶硅氫化尾氣利用方法，其特征在于，與吸收塔富液換熱后-15℃～-20℃的氯化硅貧液與-40℃的氯化氫液體換熱后溫度降至-20℃～-25℃，-20℃～-25℃的氯化硅貧液深冷至-42℃～-44℃后用作吸收塔吸收劑吸收分離氫化反應(yīng)中產(chǎn)生的氯化氫氣體；與氯化硅貧液換熱后的氯化氫溫度升至-15℃～-20℃，將-15℃～-20℃氯化氫氣體通過(guò)去精餾車間的30℃～35℃氯硅烷再次加熱后送至三氯氫硅合成。