[發(fā)明專利]壓電陶瓷驅(qū)動裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410592667.5 | 申請日: | 2014-10-28 |
| 公開(公告)號: | CN104320017A | 公開(公告)日: | 2015-01-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 王學(xué)亮;李佩玥;張巍;隋永新;楊懷江 | 申請(專利權(quán))人: | 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所 |
| 主分類號: | H02N2/06 | 分類號: | H02N2/06 |
| 代理公司: | 長春菁華專利商標代理事務(wù)所 22210 | 代理人: | 陶尊新 |
| 地址: | 130033 吉*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 壓電 陶瓷 驅(qū)動 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及密位移控制技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種壓電陶瓷的驅(qū)動方法和裝置。
背景技術(shù)
壓電陶瓷材料具有分辨率高,頻率特性好,輸出力大,無磁干擾和發(fā)熱小等優(yōu)點,其作為納米級定位系統(tǒng)的執(zhí)行機構(gòu)被廣泛地使用于航空航天、半導(dǎo)體、生物工程、精密檢測及精密加工等領(lǐng)域。在納米級的高精度定位應(yīng)用中,通常要求其執(zhí)行器具有亞納米量級的定位分辨率。壓電陶瓷材料的伸長量與其驅(qū)動電壓成正比,因此壓電陶瓷驅(qū)動電路的驅(qū)動電壓分辨率決定了壓電陶瓷執(zhí)行器的定位分辨率。通常,壓電陶瓷驅(qū)動電路為單端結(jié)構(gòu),在這種電路結(jié)構(gòu)中驅(qū)動電壓很容易受到環(huán)境噪聲的影響,例如,電路板電源電壓的噪聲和從時鐘信號耦合的噪聲,導(dǎo)致驅(qū)動電壓分辨率降低,繼而導(dǎo)致定位系統(tǒng)的定位分辨率降低。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為解決現(xiàn)有壓電陶瓷驅(qū)動技術(shù)存在的易受環(huán)境噪聲影響的問題,提供一種壓電陶瓷驅(qū)動裝置。
壓電陶瓷驅(qū)動裝置,包括數(shù)模轉(zhuǎn)換器、電壓放大器和差分驅(qū)動器;數(shù)字信號經(jīng)數(shù)模轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換以后變?yōu)槟M電壓信號;模擬電壓信號經(jīng)電壓放大器放大后傳輸至差分驅(qū)動器;差分驅(qū)動器將電壓施加于壓電陶瓷兩端。
本發(fā)明還包括微控制器,所述微控制器產(chǎn)生的數(shù)字信號提供給數(shù)模轉(zhuǎn)換器,所述微控制器、數(shù)模轉(zhuǎn)換器、電壓放大器和差分驅(qū)動器裝配在印制電路板上。
本發(fā)明還包括數(shù)字信號處理器,所述數(shù)字信號處理器產(chǎn)生的數(shù)字信號提供給數(shù)模轉(zhuǎn)換器,所述數(shù)字信號處理器、數(shù)模轉(zhuǎn)換器、電壓放大器和差分驅(qū)動器裝配在印制電路板上。
本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明使用差分驅(qū)動器對壓電陶瓷進行驅(qū)動,提高了定位系統(tǒng)的定位分辨率。本發(fā)明將數(shù)模轉(zhuǎn)換器、電壓放大器與差分驅(qū)動器結(jié)合,使用差分驅(qū)動器對壓電陶瓷進行驅(qū)動時可以顯著提高壓電陶瓷的輸出位移分辨率,系統(tǒng)可以使用性能較低的電源供電,極大地削減整個系統(tǒng)的成本。
附圖說明
圖1為本發(fā)明所述的壓電陶瓷驅(qū)動裝置中由微控制器提供數(shù)字信號的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本發(fā)明所述的壓電陶瓷驅(qū)動裝置中由數(shù)字信號處理器提供數(shù)字信號的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3為本發(fā)明所述的壓電陶瓷驅(qū)動裝置中包括微控制器集成在印制電路板的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4為本發(fā)明所述的壓電陶瓷驅(qū)動裝置中包括數(shù)字信號處理器集成在印制電路板的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖5為發(fā)明所述的壓電陶瓷驅(qū)動裝置的原理示意圖。
圖中:1、微控制器,2、微控制器的數(shù)字信號輸出端,3、數(shù)模轉(zhuǎn)換器的數(shù)字信號輸入端,4、數(shù)模轉(zhuǎn)換器,5、數(shù)模轉(zhuǎn)換器的模擬信號輸出端,6、電壓放大器的信號輸入端,7、電壓放大器,8、電壓放大器的信號輸出端,9、差分驅(qū)動器的信號輸入端,10、差分驅(qū)動器的信號輸出端,11、差分驅(qū)動器,12、壓電陶瓷,13、數(shù)字信號處理器,14、數(shù)字信號處理器的數(shù)字信號輸出端,15、印制電路板。
具體實施方式
具體實施方式一、結(jié)合圖1至圖5說明本實施方式,壓電陶瓷驅(qū)動裝置,包括數(shù)模轉(zhuǎn)換器4、電壓放大器7和差分驅(qū)動器11;其中數(shù)模轉(zhuǎn)換器的模擬信號輸出端5與電壓放大器的信號輸入端6連接,電壓放大器的信號輸出端8與差分驅(qū)動器的信號輸入端9連接,差分驅(qū)動器的信號輸出端10連接于壓電陶瓷12;數(shù)字信號經(jīng)數(shù)模轉(zhuǎn)換器4轉(zhuǎn)換以后變?yōu)槟M電壓信號;模擬電壓信號經(jīng)電壓放大器7放大后傳輸至差分驅(qū)動器11;差分驅(qū)動器11將電壓施加于壓電陶瓷12兩端。
本實施方式還包括微控制器1,所述微控制器1產(chǎn)生的數(shù)字信號提供給數(shù)模轉(zhuǎn)換器4,微控制器的數(shù)字信號輸出端2與數(shù)模轉(zhuǎn)換器數(shù)字信號輸入端3連接,
本實施方式中還包括數(shù)字信號處理器13,所述數(shù)字信號處理器13產(chǎn)生的數(shù)字信號提供給數(shù)模轉(zhuǎn)換器4,數(shù)字信號處理器的數(shù)字信號輸出端14與數(shù)模轉(zhuǎn)換器數(shù)字信號輸入端3連接。
本實施方式中還包括印制電路板15,所述微控制器1、數(shù)模轉(zhuǎn)換器4、電壓放大器7和差分驅(qū)動器11裝配在印制電路板15上;或者數(shù)字信號處理器13、數(shù)模轉(zhuǎn)換器4、電壓放大器7和差分驅(qū)動器11裝配在印制電路板15上。
結(jié)合圖5說明本實施方式,本實施方式中微控制器1采用Microchip公司的PIC18F4520,數(shù)模轉(zhuǎn)換器4采用Anolog?Devices公司的AD5570,電壓放大器7采用Anolog?Devices公司的ADA4700,差分驅(qū)動器11由Vishay公司的IRF510和電阻構(gòu)成。PIC8F4520的RC5/SDO引腳、RC3/SCK/SCL引腳、RD1/PSP1引腳、RD2/PSP2引腳和RD3/PSP3引腳依次與AD5570的SDIN引腳、SCLK引腳、SYNC引腳、LDAC引腳和CLR引腳連接,通過SPI鏈路進行數(shù)字信號的傳輸,AD5570的VOUT引腳經(jīng)電阻R87連接至ADA4700的反相輸入端,ADA4700的同相輸入端接地,ADA4700的輸出端與反相輸入端之間連接電阻R88,ADA4700的輸出端與差分驅(qū)動器中Q1的柵極連接,Q1的漏極通過R89與電源連接,差分驅(qū)動器中Q2的柵極接地,Q2的漏極通過R90與電源連接,R89與R90的組織相等,Q1的源極與Q2的源極連接后接電流源I1,輸出信號從Q1的漏極和Q2的漏極取出,加到壓電陶瓷12的兩端。
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