[發明專利]一種光刻投影物鏡內部腔室氣體環境采集控制系統

無效

• 申請號: 201410591253.0
• 申請日: 2014-10-27
• 公開（公告）號: CN104317167A
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 于淼;崔洋;李佩玥;彭吉;隋永新;楊懷江
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 南小平

1.一種光刻投影物鏡內部腔室氣體環境采集控制系統，其特征在于，包括上位機(2)、環境控制機箱(9)、氣體環境控制單元(11)和氣體環境測量單元(12)；

所述上位機(2)包括人機交互接口(1)和網絡接口(3)，所述環境控制機箱(9)包括機箱背板(6)和固定在機箱背板(6)上的機箱主控卡(5)、氣體環境采集卡(7)和氣體環境控制卡(8)，所述上位機(2)的網絡接口(3)通過網絡接口線路(4)與環境控制機箱(9)的機箱主控卡(5)連接，氣體環境采集卡(7)和氣體環境控制卡(8)分別通過模擬放大線路(10)與氣體環境測量單元(12)和氣體環境控制單元(11)連接，光刻投影物鏡(13)內部腔室與所述氣體環境控制單元(11)之間通過高純供給線路(14)和回氣線路(16)構成氣體回路，所述氣體環境測量單元(12)通過待測氣路(15)與所述光刻投影物鏡(13)內部腔室連接。

2.根據權利要求1所述的一種光刻投影物鏡內部腔室氣體環境采集控制系統，其特征在于，所述氣體環境控制單元(11)包括安全閥、一級減壓閥、二級減壓閥、過濾器、質量流控制器和純化器，高純氣體依次經過濾器、一級減壓閥、二級減壓閥、純化器、質量流控制器和安全閥處理后經高純供給線路(14)輸送到所述光刻投影物鏡(13)內部腔室中。

3.根據權利要求1所述的一種光刻投影物鏡內部腔室氣體環境采集控制系統，其特征在于，所述氣體環境測量單元(12)通過高精度溫度傳感器、濕度傳感器、相對壓力傳感器和絕對壓力傳感器采集待測氣路(15)中氣體信息并轉換為模擬放大信號通過模擬放大信號線路輸送至氣體環境采集卡(7)。

4.根據權利要求1所述的一種光刻投影物鏡內部腔室氣體環境采集控制系統，其特征在于，所述氣體環境控制單元(11)和氣體環境測量單元(12)與光刻投影物鏡(13)之間的距離為2-3m。

5.根據權利要求1所述的一種光刻投影物鏡內部腔室氣體環境采集控制系統，其特征在于，所述環境控制機箱(9)選用CompactPCI、VME或PCI-E總線形式，4U、5U或6U高度機架式，帶冗余獨立供電模塊。

6.根據權利要求1所述的一種光刻投影物鏡內部腔室氣體環境采集控制系統，其特征在于，所述環境控制機箱(9)與上位機(2)之間通過自定義網絡協議幀格式(24)通信；機箱主控卡(5)、氣體環境采集卡(7)與氣體環境控制卡(8)通過自定義網絡協議幀格式(24)通信。

7.根據權利要求6所述的一種光刻投影物鏡內部腔室氣體環境采集控制系統，其特征在于，所述自定義網絡協議幀格式(24)包含設備號(18)、通道號(19)、命令號(20)、數據個數(21)、協議幀校驗(22)、協議數據段部分(23)，其中設備號(18)占1字節空間，通道號(19)占1字節空間，命令號(20)占2字節空間，數據個數(21)占2字節空間，協議幀校驗(22)占2字節空間，協議數據段部分(23)每數據占8字節空間，自定義網絡協議依靠TCP/IP協議提供可靠的面向連接的網絡服務，以8字節格式對齊，小端字節排序。