[發明專利]一種應用于鋁基基材的Y3Al5O12涂層的制備方法

有效

• 申請號: 201410590041.0
• 申請日: 2014-10-28
• 公開（公告）號: CN105624602B
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發明（設計）人: 王文東;夏洋;劉金虎
• 申請（專利權）人: 北京美橋電子設備有限公司;中國科學院微電子研究所
• 主分類號: C23C4/12
• 分類號: C23C4/12;C23C4/10
• 代理公司: 北京華沛德權律師事務所 11302
• 代理人: 劉杰

1.一種應用于鋁基基材的Y₃Al₅O₁₂涂層的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

選擇Y₃Al₅O₁₂粉末；

通過等離子噴涂設備在待噴涂的鋁基基材的表面噴涂碳化鉻或氮化鉻涂層，其中，在等離子噴涂的過程中，采用壓縮空氣噴吹方法或者循環水冷方法來冷卻所述鋁基基材，所述壓縮空氣噴吹方法中冷卻氣體的流量為100～2000L/min，所述循環水冷方法中冷卻水的流量為10～500L/min；

其中，所述等離子噴涂設備的電弧電壓為40～80V，電弧電流為500～900A，送粉速度為10～80g/min，噴涂距離為60～160mm，粉斗攪拌速度5～40r/min，送粉角度為50°～90°，機械手移動速度為3～1000mm/s；控制碳化鉻或氮化鉻涂層厚度為20～200μm；

其中，當在所述鋁基基材表面噴涂氮化鉻涂層后，對所述氮化鉻涂層進行滲碳處理，讓碳向氮化鉻中擴散，使粘結層中的相分布依次為Cr₃C₂、Cr₇C₃、CrC_xN_y、Cr₂N；

通過等離子噴涂設備在所述碳化鉻或氮化鉻涂層的表面噴涂Y₃Al₅O₁₂，制備出Y₃Al₅O₁₂涂層。

2.如權利要求1所述的應用于鋁基基材的Y₃Al₅O₁₂涂層的制備方法，其特征在于，所述Y₃Al₅O₁₂粉末的粒度范圍為10～80μm。

3.如權利要求1所述的應用于鋁基基材的Y₃Al₅O₁₂涂層的制備方法，其特征在于，所述Y₃Al₅O₁₂粉末呈球形多孔結構，是由納米小顆粒組成的中空微米小球。

4.如權利要求1所述的應用于鋁基基材的Y₃Al₅O₁₂涂層的制備方法，其特征在于，所述通過等離子噴涂設備在待噴涂的鋁基基材的表面噴涂碳化鉻或氮化鉻涂層的步驟中，所述等離子噴涂設備使用的離子氣體為Ar和H₂，Ar氣體的流量為40～100L/min，H₂氣體的流量為5～20L/min。

5.如權利要求1所述的應用于鋁基基材的Y₃Al₅O₁₂涂層的制備方法，其特征在于，所述通過等離子噴涂設備在所述碳化鉻或氮化鉻涂層的表面噴涂Y₃Al₅O₁₂的步驟中，所述等離子噴涂設備使用的離子氣體為Ar和He，Ar氣體的流量為40～90L/min，He氣體的流量為5～20L/min，或，所述等離子噴涂設備使用的離子氣體為Ar和H₂，Ar氣體的流量為40～90L/min，H₂氣體的流量為5～20L/min。