[發(fā)明專利]反應(yīng)腔室的觀察窗組件及應(yīng)用其的反應(yīng)腔室

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410583803.4
• 申請(qǐng)日: 2014-10-27
• 公開（公告）號(hào): CN105629417A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李冰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G02B7/02
• 分類號(hào): G02B7/02;G02B7/00
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種反應(yīng)腔室的觀察窗組件，在所述反應(yīng)腔室的腔室壁上設(shè) 置有觀察孔，所述觀察窗組件包括透明玻璃，所述透明玻璃設(shè)置在所 述腔室壁上，且位于與所述觀察孔相對(duì)的位置處，其特征在于，所述 觀察窗組件還包括凹透鏡，

所述凹透鏡設(shè)置在所述腔室壁上，且位于與所述觀察孔相對(duì)的 位置處。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔室的觀察窗組件，其特征在于， 所述凹透鏡為雙凹透鏡、平凹透鏡或者凹度大于凸度的凹凸透鏡。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔室的觀察窗組件，其特征在于， 所述凹透鏡的任意一個(gè)凹球面的凹度均與所述凹透鏡的視野范圍呈 正相關(guān)的對(duì)應(yīng)關(guān)系。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的反應(yīng)腔室的觀察窗組件， 其特征在于，所述凹透鏡位于所述腔室壁的內(nèi)側(cè)；

所述觀察窗組件還包括第一安裝組件，所述第一安裝組件包括：

卡環(huán)，用于壓住所述凹透鏡朝向所述反應(yīng)腔室內(nèi)部的表面邊緣 區(qū)域；

第一螺釘，用于將卡環(huán)固定在所述反應(yīng)腔室的腔室壁上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的反應(yīng)腔室的觀察窗組件，其特征在于， 所述卡環(huán)包括環(huán)繞在所述凹透鏡周圍的環(huán)體，且沿所述環(huán)體的內(nèi)周壁 環(huán)繞設(shè)置有一環(huán)形凸緣，所述環(huán)形凸緣疊置在所述凹透鏡朝向所述反 應(yīng)腔室內(nèi)部的表面邊緣區(qū)域。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的反應(yīng)腔室的觀察窗組件，其特征在于， 所述卡環(huán)包括環(huán)繞在所述凹透鏡周圍的環(huán)體，且沿所述環(huán)體的內(nèi)周壁 間隔設(shè)置有多個(gè)壓爪，所述多個(gè)壓爪疊置在所述凹透鏡朝向所述反應(yīng) 腔室內(nèi)部的表面邊緣區(qū)域。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔室的觀察窗組件，其特征在于， 所述觀察窗組件還包括第二安裝組件，所述第二安裝組件包括：

腔室法蘭，固定在所述腔室壁的外側(cè)，且具有第一中心孔，所 述第一中心孔與所述觀察孔同軸；

安裝法蘭，對(duì)應(yīng)地與所述腔室法蘭相互疊置，且具有第二中心 孔，所述第二中心孔與所述觀察孔同軸；

密封圈，設(shè)置在所述腔室法蘭和安裝法蘭之間，用以對(duì)二者之 間的間隙進(jìn)行密封；

第二螺釘，用于將所述腔室法蘭和安裝法蘭固定在一起；

所述透明玻璃設(shè)置在所述第一中心孔或者第二中心孔內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔室的觀察窗組件，其特征在于， 所述凹透鏡內(nèi)嵌在所述觀察孔內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的反應(yīng)腔室的觀察窗組件，其特征 在于，所述透明玻璃內(nèi)嵌在所述觀察孔內(nèi)，且位于所述凹透鏡的內(nèi)側(cè) 或外側(cè)。

10.一種反應(yīng)腔室，在所述反應(yīng)腔室的腔室壁上設(shè)置有觀察孔， 在所述觀察孔上設(shè)置有觀察窗組件，其特征在于，所述觀察窗組件采 用權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的觀察窗組件。