[發明專利]基于微環諧振腔的硅基熱光調制器有效
| 申請號： | 201410582981.5 | 申請日： | 2014-10-27 |
| 公開（公告）號： | CN104280899B | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發明（設計）人： | 趙佳;李祥鵬 | 申請（專利權）人： | 山東大學 |
| 主分類號： | G02F1/01 | 分類號： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 濟南金迪知識產權代理有限公司 37219 | 代理人： | 寧欽亮 |
| 地址： | 250100 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 諧振腔 硅基熱光 調制器 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于微環諧振腔的硅基熱光調制器，包括硅襯底和二氧化硅下包層，二氧化硅下包層設置在硅襯底上，其特征是，二氧化硅下包層上設置有兩個直波導和—個環形波導，兩個直波導分別作為用于接收入射光的主信道波導和輸出出射光的下信道波導，環形波導置于兩個直波導之間，并與兩個直波導之間填充聚合物，兩側聚合物表面均覆蓋有熱電極。
2.根據權利要求1所述的一種基于微環諧振腔的硅基熱光調制器，其特征是，所述直波導和環形波導的材料均為硅。
3.根據權利要求1所述的一種基于微環諧振腔的硅基熱光調制器，其特征是，所述直波導和環形波導之間的最小距離為100納米。
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