[發明專利]一種離子注入機的自動手動真空模塊切換的方法在審
| 申請號： | 201410581918.X | 申請日： | 2014-10-27 |
| 公開（公告）號： | CN105889045A | 公開（公告）日： | 2016-08-24 |
| 發明（設計）人： | 王博喜 | 申請（專利權）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | F04B49/00 | 分類號： | F04B49/00;F04B49/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子 注入 自動 手動 真空 模塊 切換 方法 | ||
【權利要求書】：
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