[發(fā)明專利]多光束光學(xué)厚膜監(jiān)測(cè)儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410577499.2
• 申請(qǐng)日: 2014-10-24
• 公開（公告）號(hào): CN104296670B
• 公開（公告）日: 2017-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張殷;鄧琪;張小飛;王靜輝;呂子嘯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杰萊特（蘇州）精密儀器有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06
• 代理公司: 山西五維專利事務(wù)所(有限公司)14105
• 代理人: 雷立康

1.一種多光束光學(xué)厚膜監(jiān)測(cè)儀，它包括單色儀(10)、光電探測(cè)器(12)、信號(hào)放大器(13)、控制計(jì)算機(jī)(14)、位置觸發(fā)電路(16)和會(huì)聚透鏡(17)，其特征在于：它還包括：

一個(gè)鹵鎢燈(1)：鹵鎢燈(1)設(shè)置在旋轉(zhuǎn)斬光器(2)內(nèi)；

一個(gè)旋轉(zhuǎn)斬光器(2)：旋轉(zhuǎn)斬光器(2)設(shè)在一個(gè)旋轉(zhuǎn)托盤上并且能以鹵鎢燈(1)燈絲為中心旋轉(zhuǎn)，在旋轉(zhuǎn)斬光器(2)中間位置上設(shè)有一個(gè)光出射孔(3)，在旋轉(zhuǎn)斬光器(2)的軸上連接有光電開關(guān)或者編碼器，以設(shè)置針對(duì)各個(gè)光路和暗場(chǎng)位置的觸發(fā)脈沖，用于選擇對(duì)應(yīng)的信號(hào)處理電路；

至少三個(gè)光纖光路：每一個(gè)光纖光路由透鏡(4)和光纖(5)組成，光纖光路以鹵鎢燈(1)燈絲為中心依次環(huán)繞設(shè)置在旋轉(zhuǎn)斬光器(2)的周圍，且光纖光路中的透鏡(4)位于旋轉(zhuǎn)斬光器(2)光出射孔(3)射出光束的光路上，光纖(5)位于透鏡(4)的后面；其中一個(gè)光纖光路為參考光路，其余光纖光路為監(jiān)控光纖光路；

基板支架(6)：基板支架(6)設(shè)在旋轉(zhuǎn)斬光器(2)的下方，監(jiān)控點(diǎn)(7)設(shè)在基板支架(6)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多光束光學(xué)厚膜監(jiān)測(cè)儀，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)斬光器(2)的轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)與基板支架(6)的轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)要保持同步或者整數(shù)倍的關(guān)系。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多光束光學(xué)厚膜監(jiān)測(cè)儀，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)斬光器(2)的形狀為球形或圓環(huán)形中的任意一種。