[發(fā)明專利]一種雙柵極場效應晶體管電容的測試方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410576896.8 | 申請日： | 2014-10-24 |
| 公開（公告）號： | CN104407229A | 公開（公告）日： | 2015-03-11 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李建成;徐順強;李聰;尚靖;李文曉;吳建飛;曾祥華;鄭黎明 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國人民解放軍國防科學技術(shù)大學 |
| 主分類號： | G01R27/26 | 分類號： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429 | 代理人： | 胡偉華 |
| 地址： | 410073 湖*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 柵極 場效應 晶體管 電容 測試 方法 | ||
1.一種雙柵極場效應晶體管電容的測試方法，其特征在于，包括以下步驟：?
步驟1：采用單柵極場效應晶體管電容的測試方法，將源極(3)、漏極(4)、第二柵極(6)接地，在第一柵極(5)上加偏置和交流信號，測出第一柵極(5)對第一柵極(5)的電容Cg1_g1、第一柵極(5)對第二柵極(6)的電容Cg1_g2；?
步驟2：將源極3、漏極4、第一柵極5接地，在第二柵極上加偏置和交流信號，測出第二柵極(6)對第二柵極(6)的電容Cg2_g2、第二柵極(6)對第一柵極(5)的電容Cg2_g1；?
步驟3：根本步驟1和步驟2的測量結(jié)果，計算雙柵極場效應晶體管結(jié)構(gòu)的總的柵電容Cg，計算的公式如下：?
Cg＝Cg1_g1+Cg1_g2+Cg2_g2+Cg2_g1。
2.如權(quán)利要求1所述的雙柵極場效應晶體管電容的測試方法，其特征在于：所述步驟1和步驟2中所述交流信號是電壓為0.1毫伏，頻率為1兆赫茲信號。?
3.如權(quán)利要求1所述的雙柵極場效應晶體管電容的測試方法，其特征在于：所述步驟1和步驟2中所述偏置為電壓從-1伏掃到1伏，步長為0.05伏。?
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