[發(fā)明專(zhuān)利]一種雙柵極場(chǎng)效應(yīng)晶體管電容的測(cè)試方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410576896.8
• 申請(qǐng)日: 2014-10-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104407229A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李建成;徐順強(qiáng);李聰;尚靖;李文曉;吳建飛;曾祥華;鄭黎明
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)人民解放軍國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01R27/26
• 分類(lèi)號(hào): G01R27/26
• 代理公司: 北京中濟(jì)緯天專(zhuān)利代理有限公司 11429
• 代理人: 胡偉華

1.一種雙柵極場(chǎng)效應(yīng)晶體管電容的測(cè)試方法，其特征在于，包括以下步驟：?

步驟1：采用單柵極場(chǎng)效應(yīng)晶體管電容的測(cè)試方法，將源極(3)、漏極(4)、第二柵極(6)接地，在第一柵極(5)上加偏置和交流信號(hào)，測(cè)出第一柵極(5)對(duì)第一柵極(5)的電容C_{g1_g1}、第一柵極(5)對(duì)第二柵極(6)的電容C_{g1_g2}；?

步驟2：將源極3、漏極4、第一柵極5接地，在第二柵極上加偏置和交流信號(hào)，測(cè)出第二柵極(6)對(duì)第二柵極(6)的電容C_{g2_g2}、第二柵極(6)對(duì)第一柵極(5)的電容C_{g2_g1}；?

步驟3：根本步驟1和步驟2的測(cè)量結(jié)果，計(jì)算雙柵極場(chǎng)效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)的總的柵電容C_g，計(jì)算的公式如下：?

C_g＝C_{g1_g1}+C_{g1_g2}+C_{g2_g2}+C_{g2_g1}。

2.如權(quán)利要求1所述的雙柵極場(chǎng)效應(yīng)晶體管電容的測(cè)試方法，其特征在于：所述步驟1和步驟2中所述交流信號(hào)是電壓為0.1毫伏，頻率為1兆赫茲信號(hào)。?

3.如權(quán)利要求1所述的雙柵極場(chǎng)效應(yīng)晶體管電容的測(cè)試方法，其特征在于：所述步驟1和步驟2中所述偏置為電壓從-1伏掃到1伏，步長(zhǎng)為0.05伏。?