[發(fā)明專利]一種微小型原子氣室的制作方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410573376.1
• 申請(qǐng)日: 2014-10-23
• 公開（公告）號(hào): CN105589326A
• 公開（公告）日: 2016-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭辛;王宇虹;汪世林;秦杰;裴強(qiáng);高溥澤;韓文法;楊磊;孫曉光
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京自動(dòng)化控制設(shè)備研究所
• 主分類號(hào): G04F5/14
• 分類號(hào): G04F5/14
• 代理公司: 核工業(yè)專利中心 11007
• 代理人: 高尚梅

1.一種微小型原子氣室的制作方法，包括選材切割、零件拋光、組裝、 表面拋光、安裝排氣管和后續(xù)處理的步驟，其特征在于：

所述選材切割的步驟依據(jù)所需原子氣室的尺寸要求選擇對(duì)應(yīng)尺寸規(guī)格的 平板玻璃作為原材料，然后將所述原材料切割并加工成能組裝成原子氣室立 方體玻殼的零件；

所述零件拋光的步驟是將切割好的零件在組裝時(shí)相互接觸的面拋光至具 備光膠的表面精度；

所述組裝的步驟是將經(jīng)過拋光的零件按照對(duì)應(yīng)的規(guī)格尺寸組裝成為原子 氣室立方體玻殼，組裝時(shí)經(jīng)過拋光的兩個(gè)面接觸后即可形成牢固的光膠組裝；

所述表面拋光的步驟是對(duì)組裝好的氣室玻殼外表面進(jìn)行拋光處理，使整 個(gè)氣室玻殼外表面光滑，同時(shí)使其通光面的表面光學(xué)質(zhì)量滿足氣室通光面要 求，還使被用于光膠的位置達(dá)到光膠的表面精度；

所述安裝排氣管的步驟是將排氣管的一個(gè)端面拋光至滿足光膠要求后光 膠至氣室玻殼的對(duì)應(yīng)位置處，用作后續(xù)接入真空排氣臺(tái)的接口；

所述后續(xù)處理是對(duì)組裝好的氣室玻殼進(jìn)行化學(xué)清洗、烘干，通過玻璃燒 結(jié)接入真空系統(tǒng)，進(jìn)行真空處理，然后將堿金屬轉(zhuǎn)移至玻殼內(nèi)，并充入工作 氣體，最終通過玻璃燒結(jié)脫離真空系統(tǒng)，完成氣室制作。

2.如權(quán)利要求1所述的微小型原子氣室的制作方法，其特征在于：所述 作為原材料的平板玻璃的熱脹系數(shù)優(yōu)于3.3*10^-6K^-1。

3.如權(quán)利要求1所述的微小型原子氣室的制作方法，其特征在于：所述 選材切割步驟中，選用原材料平板玻璃的厚度與氣室玻殼的厚度相同，平板 玻璃被切割成至少六個(gè)彼此獨(dú)立的平面零件，所述六個(gè)彼此相互獨(dú)立的平面 零件拼裝在一起構(gòu)成所述尺寸規(guī)格要求的氣室玻殼，并在六個(gè)平面零件中任 意一個(gè)平面零件沿其厚度方向的中心開設(shè)有通孔。

4.如權(quán)利要求1所述的微小型原子氣室的制作方法，其特征在于：所述 選材切割步驟中，選用厚度與氣室玻殼的厚度相同和厚度與氣室玻殼的長(zhǎng)或 寬或高三者中任一量相同的平板玻璃，將兩種原料平板玻璃中厚度大的平板 玻璃切成方框狀零件，厚度小的平板玻璃切割成上、下底部零件，方框狀零 件和上、下底部零件組裝后即為所需尺寸的氣室玻殼；切割完成后選擇方框 狀零件四面中任意一面或上、下底部零件中的任一零件在其厚度方向開設(shè)通 孔。

5.如權(quán)利要求1所述的微小型原子氣室的制作方法，其特征在于：所述 選材切割步驟中，選用厚度與氣室玻殼的厚度相同和厚度與氣室玻殼的長(zhǎng)或 寬或高三者中任一量相同的平板玻璃，將兩種原料平板玻璃中厚度大的平板 玻璃切成方箱狀零件，厚度小的平板玻璃切割成底部零件，方箱狀零件和底 部零件組裝后即為所需尺寸的氣室玻殼；切割完成后選擇方箱狀零件五面中 任意一面或底部零件在其厚度方向開設(shè)通孔。

6.如權(quán)利要求1所述的微小型原子氣室的制作方法，其特征在于：將堿 金屬轉(zhuǎn)移至玻殼內(nèi)所需的系統(tǒng)真空度為10^-4Pa或以上。