[發(fā)明專利]臺階表面高度測量的單光柵干涉儀及臺階表面高度測量方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410573215.2 | 申請日： | 2014-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN104330034A | 公開（公告）日： | 2015-02-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 宦海;盧松;張雨;黃凌霄;張震 | 申請（專利權(quán)）人： | 南京信息工程大學(xué) |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 南京眾聯(lián)專利代理有限公司 32206 | 代理人： | 張慧清 |
| 地址： | 210044 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 臺階 表面 高度 測量 光柵 干涉儀 測量方法 | ||
1.臺階表面高度測量的單光柵干涉儀，其特征在于：包括激光光源、三個透鏡、一個平面光柵、一個帶有兩個針孔的光闌、一個圖像傳感器、一個正弦振動揚聲器；
所述激光光源置于待測臺階一側(cè)，激光光源與待測臺階之間依次設(shè)置有一個透鏡和一個平面光柵，所述平面光柵連接至正弦振動揚聲器；
所述激光光源發(fā)出一組與待測表面呈一定角度β的平行光，所述激光光源發(fā)出的平行光依次通過第一透鏡和平面光柵，并在檢測表面反射后形成反射光束；
以反射光束為軸，依次設(shè)置有第二透鏡、帶有兩個針孔的光闌、第三透鏡，
所述反射光束依次通過第二透鏡、帶有兩個針孔的光闌、以及第三透鏡，
所述圖像傳感器置于第三透鏡后側(cè)，接收通過第三透鏡的光束，得到反應(yīng)物體平面圖像的干涉條紋圖案。
2.一種臺階表面高度測量的方法，其特征在于，包括如下步驟：
按照權(quán)利要求1中所述方式搭建臺階表面高度測量所需要的的單光柵干涉儀；
在激光光源處發(fā)出一組平行光，記錄平行光與待測表面之間的夾角β；
平行光束通過焦距為f0的透鏡L0發(fā)生折射后，在空間周期為P，透光寬度為a的光柵G處發(fā)生正弦振動；
透過光柵G的光束在待測表面發(fā)生反射，形成反射光束，反射光束通過焦距為f1的透鏡L1發(fā)生折射，形成多個光束；
其中被允許穿過帶有兩個針孔的光闌上兩針孔光闌H的第一階光束經(jīng)焦距為f2的透鏡L2折射；
圖像傳感器在一定時間間隔內(nèi)重復(fù)多次采樣，得到干涉條紋圖案；
將干涉條紋圖案轉(zhuǎn)化得到位相分布圖，并且選擇位相分布圖中的一行進行臺階表面高度計算，臺階表面高度r計算方式如下：
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于南京信息工程大學(xué)，未經(jīng)南京信息工程大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410573215.2/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
