[發明專利]一種用于AlN籽晶粘貼的鋁基高溫粘結劑及其制備方法有效
| 申請號: | 201410569829.3 | 申請日: | 2014-10-23 |
| 公開(公告)號: | CN104371560A | 公開(公告)日: | 2015-02-25 |
| 發明(設計)人: | 張麗;齊海濤;史月增;程紅娟;徐永寬 | 申請(專利權)人: | 中國電子科技集團公司第四十六研究所 |
| 主分類號: | C09J1/00 | 分類號: | C09J1/00;C09J11/06;C30B23/00;C30B29/38 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 aln 籽晶 粘貼 高溫 粘結 及其 制備 方法 | ||
技術領域
本發明涉及粘結劑,尤其涉及一種用于AlN籽晶粘貼的鋁基高溫粘結劑及其制備方法。
背景技術
物理氣相傳輸法簡稱PVT法,是AlN單晶生長的主流方法。大尺寸高質量AlN單晶的獲得必須建立在籽晶生長模式上,AlN自籽晶生長則是最直接的方式。在AlN單晶生長之前,陶瓷托上固定AlN籽晶,確保在AlN單晶生長過程中陶瓷托與籽晶仍緊密貼合。然而AlN單晶生長溫度在2000℃以上,現有的普通粘結劑在此溫度下不能穩定存在,導致陶瓷托與AlN籽晶部分或完全脫離,兩者之間形成小的軸向溫度梯度,籽晶反向升華出現燒蝕現象,獲得的AlN單晶晶體質量差,缺陷密度高。另外,AlN單晶生長對環境要求苛刻,現有粘結劑中含有的雜質元素會以缺陷的形式存在于晶體中,影響單晶質量的同時,對AlN單晶吸收光譜和透過率等性能也產生一定的影響。
發明內容
為了克服現有技術中存在粘結劑耐受性不高以及雜質引入的問題,本發明提出了一種用于AlN籽晶粘貼的鋁基高溫粘結劑及其制備方法。
本發明所采取的技術方案是:一種用于AlN籽晶粘貼的鋁基高溫粘結劑,其特征在于:其成分按以下重量百分比組成:氮化鋁為30~50%、鋁為10~30%、異丙醇為10~20%、去離子水為10~50%。
本發明所述的一種用于AlN籽晶粘貼的鋁基高溫粘結劑的制備方法是:按重量百分比稱取氮化鋁、鋁粉、異丙醇和去離子水放入容器中,將盛有原料的容器放入溫度為30~80℃的磁力攪拌水浴鍋中攪拌,混合均勻的懸浮液即為鋁基高溫粘結劑。
本發明所述的攪拌時間為5min~60min,攪拌速度為500rpm~1200rpm。
本發明的有益效果是:該鋁基粘結劑無毒,在AlN單晶生長過程中能耐受2000℃以上高溫,可使AlN陶瓷托與AlN籽晶在AlN單晶生長溫度下緊密粘貼,防止AlN籽晶背面反向升華而出現的籽晶燒蝕現象,而且粘結劑本身無雜質引入,可用于物理氣相傳輸自籽晶生長大尺寸高質量的AlN單晶。?
具體實施方式
以下結合實施例對本發明作進一步說明:
本發明采用的氮化鋁和鋁均為顆粒狀,純度≥99.9%,粒徑為20nm-2μm。采用的異丙醇為分析純,作用為分散劑與膠粘劑。
異丙醇作為溶劑,其作用之一是分散劑,可使顆粒狀氮化鋁粉和鋁粉在磁力攪拌器的攪拌下充分分散,混合均勻;作用之二是異丙醇具有一定的粘性,在攪拌過程中對粉體的沉降產生阻力,易形成懸浮液。
實施例1:按重量百分比依次稱取45%的AlN粉,20%的Al粉,18%的異丙醇和17%的去離子水加入燒杯中。將盛有原料的燒杯放入溫度為60℃的磁力攪拌水浴鍋中,設置磁力攪拌器轉速為1200rpm,攪拌30min,所有原料混合均勻,得到分散均勻的懸浮液即為鋁基粘結劑。
實施例2:按重量百分比依次稱取30%的AlN粉,25%的Al粉,15%的異丙醇和30%的去離子水加入燒杯中。將盛有原料的燒杯放入溫度為50℃的磁力攪拌水浴鍋中,設置磁力攪拌器轉速為800rpm,攪拌60min,所有原料混合均勻,得到分散均勻的懸浮液即為鋁基粘結劑。
實施例3:按重量百分比依次稱取35%的AlN粉,20%的Al粉,10%的異丙醇和35%的去離子水加入燒杯中。將盛有原料的燒杯放入溫度為60℃的磁力攪拌水浴鍋中,設置磁力攪拌器轉速為500rpm,攪拌30min,所有原料混合均勻,得到分散均勻的懸浮液即為鋁基粘結劑。
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