[發明專利]采用雙可調光源法布里-珀羅干涉儀的微位移測量系統

有效

• 申請號: 201410569205.1
• 申請日: 2014-10-22
• 公開（公告）號: CN104266593A
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 任冬梅;朱振宇;李華豐;段小艷;李強
• 申請（專利權）人: 中國航空工業集團公司北京長城計量測試技術研究所
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.采用雙可調激光源法布里-珀羅干涉儀的微位移測量系統，其特征在于：采用兩個可調激光源交替跟蹤法布里-珀羅干涉儀諧振頻率變化，具體包括穩頻激光源(1)、可調激光源A(2)、可調激光源B(3)、第一偏振分光鏡(4a)、第二偏振分光鏡(4b)、第三偏振分光鏡(4c)、第四偏振分光鏡(4d)、第一平面反射鏡(5a)、第二平面反射鏡(5b)、參考反射鏡(6)、測量反射鏡(7)、第一光電接收器(8a)、第二光電接收器(8b)、第一分光鏡(9a)、第二分光鏡(9b)、第三分光鏡(9c)、第一高速光電接收器(10a)、第二高速光電接收器(10b)、頻率計數器A(11)和頻率計數器B(12)；

上述各組成部分的連接關系為：可調激光源A(2)的右側依次為同光軸的第一偏振分光鏡(4a)、第二偏振分光鏡(4b)、參考反射鏡(6)、測量反射鏡(7)、第三偏振分光鏡(4c)和第一光電接收器(8a)；其中，參考反射鏡(6)和測量反射鏡(7)組成法布里-珀羅腔；第三偏振分光鏡(4c)的正上方為第二光電接收器(8b)，第二光電接收器(8b)與第三偏振分光鏡(4c)的中心連線垂直于可調激光源A(2)的光軸；可調激光源A(2)的正上方為可調激光源B(3)，可調激光源B(3)的右側依次為同光軸的第四偏振分光鏡(4d)和第一平面反射鏡(5a)；第四偏振分光鏡(4d)與第二偏振分光鏡(4b)中心對齊，第一平面反射鏡(5a)對應的縱向位置介于第二偏振分光鏡(4b)和參考反射鏡(6)之間；可調激光源A(2)的下方為穩頻激光源(1)，穩頻激光源(1)的右側依次為同軸的第一分光鏡(9a)、第二分光鏡(9b)、第二高速光電接收器(10b)和頻率計數器B(12)；第一分光鏡(9a)對應的縱向位置在第一偏振分光鏡(4a)的左側，第二分光鏡(9b)位于第一平面反射鏡(5a)的正下方，與第一平面反射鏡(5a)中心對齊；第一分光鏡(9a)的正下方為第二平面反射鏡(5b)，第二平面反射鏡(5b)的右側依次為同軸的第三分光鏡(9c)、第一高速光電接收器(10a)和頻率計數器A(11)；第三分光鏡(9c)位于第一偏振分光鏡(4a)的正下方。

2.如權利要求1所述的采用雙可調光源法布里-珀羅干涉儀的微位移測量系統，其特征在于：從可調激光源A(2)發出的光束，被第一偏振分光鏡(4a)分為兩束，透射光束經過第二偏振分光鏡(4b)后射向由參考反射鏡(6)和測量反射鏡(7)組成的法布里-珀羅腔，透過測量反射鏡(7)的光束透過第三偏振分光鏡(4c)，射向第一光電接收器(8a)；被第一偏振分光鏡(4a)反射的光束，被下方的第三分光鏡(9c)反射，射向第一高速光電接收器(10a)；

從可調激光源B(3)發出的光束，被第四偏振分光鏡(4d)分為兩束，反射光束被下方的第二偏振分光鏡(4b)反射，射向由參考反射鏡(6)和測量反射鏡(7)組成的法布里-珀羅腔，透過測量反射鏡(7)的光束被第三偏振分光鏡(4c)反射，射向第二光電接收器(8b)；透過第四偏振分光鏡(4d)的光束，經第一平面反射鏡(5a)反射后，被下方的第二分光鏡(9b)反射，射向第二高速光電接收器(10b)；

從穩頻激光器(1)發出的光束，被第一分光鏡(9a)分為兩束，透射光束透過右側的第二分光鏡(9b)，與來自可調激光源B(3)的光束相遇，射向第二高速光電接收器(10b)；被第一分光鏡(9a)反射的光束，經第二平面反射鏡(5b)反射后透過第三分光鏡(9c)，與來自可調激光源A(2)的光束相遇，射向第一高速光電接收器(10a)；第一高速光電接收器(10a)的輸出信號送至頻率計數器A，第二高速光電接收器(10b)的輸出信號送至頻率計數器B。