[發明專利]自動頻率調諧阻抗匹配的匹配頻率的獲取方法和裝置在審
| 申請號： | 201410568232.7 | 申請日： | 2014-10-22 |
| 公開（公告）號： | CN105591629A | 公開（公告）日： | 2016-05-18 |
| 發明（設計）人： | 葉如彬 | 申請（專利權）人： | 中微半導體設備（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H03H11/28 | 分類號： | H03H11/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 王寶筠 |
| 地址： | 201201 上海市浦東新*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 自動 頻率 調諧 阻抗匹配 匹配 獲取 方法 裝置 | ||
1.一種自動頻率調諧阻抗匹配的匹配頻率的獲取方法，其特征在于，包 括：
A、設置頻率調諧過程中的第i步頻率fi、第j步頻率fj和第k步頻率fk； 其中，j＝i+1，k＝j+1，i、j和k均為整數；
B、分別獲取與第i步頻率fi、第j步頻率fj和第k步頻率fk對應的預設 參數的第i參數值Pfi、第j參數值Pfj和第k參數值Pfk；其中，所述預設參數 為與負載阻抗相關的任意一個參數；所述預設參數與RF頻率的關系為非線性 函數關系，所述非線性函數為具有極值的非線性函數；
C、根據所述第i步頻率fi、第j步頻率fj和第k步頻率fk以及所述預設 參數的第i參數值Pfi、第j參數值Pfj和第k參數值Pfk以及預設算法，計算第 q步頻率調諧的頻率fq；其中，q＝k+1，q為整數；所述預設算法具有收斂性；
D、將所述第j步頻率fj更新為第i步頻率fi，將所述第k步頻率fk更新 為第j步頻率fj，將所述第q步頻率fq更新為第k步頻率fk；
E、判斷所述fk與fj之差的絕對值是否小于第一閾值和/或所述Pfj與Pfk之差的絕對值是否小于第二閾值，以確定所述fk為匹配頻率；
當所述fk與fj之差的絕對值小于第一閾值和/或所述Pfj與Pfk之差的絕對 值小于第二閾值時，確定所述fk為匹配頻率；
當所述fk與fj之差的絕對值不小于第一閾值且當所述Pfj與Pfk之差的絕 對值不小于第二閾值時，循環執行步驟C至步驟E，直至所述fk與fj之差的 絕對值小于第一閾值和/或所述Pfj與Pfk之差的絕對值小于第二閾值。
2.根據權利要求1所述的獲取方法，其特征在于，所述預設算法為牛頓 迭代算法，所述步驟C具體包括：
C1、根據所述第i步頻率fi、第j步頻率fj和第k步頻率fk以及所述預設 參數的第i參數值Pfi、第j參數值Pfj和第k參數值Pfk，獲取所述非線性函數 在RF頻率為第k步頻率fk時的一階導數P’(fk)和二階導數P”(fk)；
C2、根據所述第k步頻率fk以及所述非線性函數在RF頻率為第k步頻 率fk時的一階導數P’(fk)和二階導數P”(fk)，計算第q步頻率調諧的頻率fq。
3.根據權利要求1所述的獲取方法，其特征在于，所述判斷所述fk與fj 之差的絕對值是否小于第一閾值和/或所述Pfj與Pfk之差的絕對值是否小于第 二閾值，以確定所述fk為匹配頻率具體包括：
判斷所述fk與fj之差的絕對值小于第一閾值，如果是，確定所述fk為匹 配頻率，如果否，判斷所述Pfj與Pfk之差的絕對值小于第二閾值，如果是，確 定所述fk為匹配頻率。
4.根據權利要求2所述的獲取方法，其特征在于，所述第q步頻率調諧 頻率fq具體通過以下公式計算得到：
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