[發(fā)明專利]用于有源光纜光學系統(tǒng)的無源對準結構及加工工藝

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• 申請日: 2014-10-21
• 公開（公告）號: CN104459906A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發(fā)明（設計）人: 萬里兮;黃小花;韓磊;王曄曄;沈建樹;錢靜嫻;翟玲玲
• 申請（專利權）人: 華天科技（昆山）電子有限公司
• 主分類號: G02B6/42
• 分類號: G02B6/42
• 代理公司: 昆山四方專利事務所 32212
• 代理人: 盛建德;段新穎

1.一種用于有源光纜光學系統(tǒng)的無源對準結構，其特征在于：包括無源板(1)、芯片組件和用于所述芯片組件光電信號轉換的光學組合鏡，所述光學組合鏡一側設有若干個定位柱(2)，所述芯片組件包括激光二極管(3)、光電二極管(4)和功能芯片(5)，所述無源板上形成有對應所述激光二極管、所述光電二極管和所述功能芯片的對位標記(6)，所述激光二極管、所述光電二極管和所述功能芯片分別根據對應的對位標記的位置通過鍵合線連接于所述無源板上，所述無源板上形成有與所述定位柱相對應的定位孔(7)，所述光學組合鏡通過所述定位柱和所述定位孔的插接連接于所述無源板上。

2.根據權利要求1所述的用于有源光纜光學系統(tǒng)的無源對準結構，其特征在于：所述無源板為硅基板，所述硅基板上通過光刻干法蝕刻形成所述定位孔；所述硅基板的正面上依次鋪設有鈍化層(8)、金屬線路層(9)和用于保護金屬線路被氧化腐蝕的保護層(10)，所述芯片組件通過鍵合線的連接方式與所述金屬線路層電連接。

3.根據權利要求1所述的用于有源光纜光學系統(tǒng)的無源對準結構，其特征在于：所述功能芯片為驅動器或轉移阻抗放大器或微控制單元。

4.根據權利要求1所述的用于有源光纜光學系統(tǒng)的無源對準結構，其特征在于：所述光電二極管的中心位置與激光二極管的中心位置之間的距離為250um。

5.一種用于有源光纜光學系統(tǒng)的無源對準結構的加工工藝，其特征在于：包括如下工藝步驟：

1)準備一芯片組件，芯片組件包括激光二極管、光電二極管和功能芯片，準備一具有與激光二極管、光電二極管和功能芯片相對應的對位標記的硅基板，準備一光學組合鏡，所述光學組合鏡一側設有若干個定位柱；

2)在所述硅基板的正面上進行光刻，將與所述光學組合鏡上的若干個定位柱相對應的定位孔的位置進行暴露；

3)采用干法刻蝕方法形成若干個所述定位孔；

4)在所述硅基板的正面上依次鋪設鈍化層、金屬線路層和保護層；

5)根據對位標記的位置將芯片組件中的激光二極管、光電二極管和功能芯片通過鍵合線的連接方式固定于硅基板的正面上；

6)根據定位孔的位置，將光學組合鏡上的定位柱插入對應的定位孔中，完成光學組合鏡與硅基板的連接。

6.根據權利要求5所述用于有源光纜光學系統(tǒng)的無源對準結構的加工工藝，其特征在于：所述工藝步驟均在無塵室內完成。

7.根據權利要求5所述用于有源光纜光學系統(tǒng)的無源對準結構的加工工藝，其特征在于：所述芯片組件與硅基板通過晶圓級封裝工藝進行連接。