[發(fā)明專利]鋁銅合金表面鍍膜方法

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• 申請日: 2014-10-21
• 公開（公告）號: CN105586623A
• 公開（公告）日: 2016-05-18
• 發(fā)明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;壽奉糧
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C25D11/16
• 分類號: C25D11/16
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華;吳敏

技術領域

本發(fā)明涉及半導體領域，尤其是涉及一種鋁銅合金表面鍍膜方法。

背景技術

陽極氧化(AnodicOxidation)是一種金屬或金屬合金的電化學氧化方法。 通過陽極氧化工藝可在金屬或金屬合金表面形成金屬氧化膜，從而達到提高 金屬或金屬合金表面硬度、耐磨性以及平整度目的。

如現有應用中，常采用陽極氧化技術，將鋁及鋁合金置于相應的電解液 內，之后在外加電流的作用下，在鋁及鋁合金(陽極)表面上形成一層氧化 膜，從而提高鋁及鋁合金表面硬度，以及耐磨損性，從而擴大鋁及鋁合金的 應用范圍，延長鋁及鋁合金的使用壽命。

在靶材制備領域，靶材背板材料陽極氧化是一種新型的靶材背板表面處 理技術，采用陽極氧化形成鍍膜的技術具有成本低、鍍膜的透明性好、耐腐 蝕性高、耐摩擦性好、工藝簡單，操作方便等優(yōu)點。因而采用陽極氧化鍍膜 技術在靶材背板材料表面鍍膜成了本領域研究熱點。

然而，在實踐操作過程中發(fā)現，采用陽極氧化技術在鋁銅合金材料表面 形成的鍍膜的均勻度較差，鍍膜各部分的厚度差異明顯，因而在鍍膜表面形 成明顯的裂紋結構，從而影響后續(xù)靶材背板的使用。

為此，如何提高鋁銅合金表面的鍍膜質量是本領域技術人員亟需解決的 問題。

發(fā)明內容

本發(fā)明解決的問題是提供一種鋁銅合金表面鍍膜方法，從而可在鋁銅合 金表面形成厚度均勻性良好的鍍膜。

為解決上述問題，本發(fā)明所提供的鋁銅合金表面鍍膜方法，包括：

提供鋁銅合金坯料；

對所述鋁銅合金坯料進行表面處理，以提高鋁銅合金表面粗糙度；

對經過表面處理的鋁銅合金坯料進行陽極氧化處理，在所述鋁銅合金坯 料表面形成氧化鍍膜層。

可選地，對所述鋁銅合金坯料進行表面處理的步驟包括：采用砂紙對所 述鋁銅合金坯料進行表面處理，以提高鋁銅合金坯料表面粗糙度。

可選地，采用的砂紙的顆粒尺寸為50～100微米。

可選地，所述陽極氧化處理的步驟包括：以濃度為1～3mol/l的硫酸作為 電解液，對經過表面處理的鋁銅合金坯料進行陽極氧化處理。

可選地，電解液的溫度為-3～3℃。

可選地，所述陽極氧化處理的步驟包括：通入的電流的電流密度為 1.5～5A/dm²。

可選地，所述陽極氧化處理的時間為15～25min。

可選地，在對鋁銅合金坯料進行陽極氧化處理形成氧化鍍膜層后，所述 鋁銅合金表面鍍膜方法還包括：對所述氧化鍍膜層進行熱水封孔。

可選地，所述熱水封孔的步驟中：采用的熱水溫度為90～100℃，持續(xù)時 間為30～45min。

可選地，在對所述鋁銅合金坯料進行表面處理前，所述鋁銅合金表面鍍 膜方法還包括：以去離子水清洗所述鋁銅合金坯料。

可選地，在提供鋁銅合金坯料后，對所述鋁銅合金坯料進行表面處理前， 所述鋁銅合金表面鍍膜方法還包括：對所述鋁銅合金坯料進行刀片切割。

可選地，所述氧化鍍膜層的厚度為10～15μm。

與現有技術相比，本發(fā)明的技術方案具有以下優(yōu)點：

在對鋁銅合金坯料進行表面處理后，鋁銅合金坯料表面的鋁銅合金出現 塑性變形，金屬晶體晶格同時發(fā)生滑移、畸變以及間距變化，使晶粒內位錯 密度增加，在鋁銅合金坯料表面形成凹坑，有效提高了鋁銅合金表面的粗糙 度，因而后續(xù)在對鋁銅合金坯料進行陽極氧化處理時，便于鋁被氧化后形成 的氧化鋁(即氧化鍍膜層)與鋁銅合金坯料表面咬合，提高氧化鋁與鋁銅合 金坯料結合強度，使鋁銅合金坯料表面各部分均可高效地形成氧化鍍膜層， 減小氧化鍍膜層于鋁銅合金坯料表面脫落的現象，從而減小鋁銅合金坯料表 面不同位置的氧化鋁厚度差異，提高形成于鋁銅合金坯料表面的氧化鍍膜層 厚度均勻度，進而提高氧化鍍膜層的質量。

附圖說明

圖1是本發(fā)明鋁銅合金表面鍍膜方法的流程示意圖；

圖2為本發(fā)明鋁銅合金表面鍍膜方法一實施例各步驟的結構示意圖。

具體實施方式

正如背景技術中所述，采用現有陽極氧化技術在鋁銅合金表面形成的鍍 膜各部分的厚度差異明顯，會形成明顯的裂紋結構，從而影響后續(xù)靶材背板 的使用，造成上述缺陷的其中一個原因是：