[發(fā)明專利]一種可測(cè)量法向和切向力的柔性力傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410562317.4
• 申請(qǐng)日: 2014-10-22
• 公開（公告）號(hào): CN104266780A
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘宏青;魏璇;王菲露;汪玉冰;曹平國;雙豐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院
• 主分類號(hào): G01L1/14
• 分類號(hào): G01L1/14
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所 34115
• 代理人: 宋倩;奚華保

1.一種可測(cè)量法向和切向力的柔性力傳感器，包括柔性力敏感單元以及與其電連接的檢測(cè)電路單元，其特征在于：所述柔性力敏感單元由上柔性電極板層、下柔性電極板層以及位于所述上柔性電極板層與下柔性電極板層之間的柔性支架層組成；所述柔性支架層由帶有空隙的柔性支撐體以及位于所述柔性支撐體空隙中的填充氣體組成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可測(cè)量法向和切向力的柔性力傳感器，其特征在于：所述柔性支撐體為若干相互平行且均勻分布的柔性支撐柱，所述柔性支撐柱采用柔性柱狀硅橡膠材料制成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可測(cè)量法向和切向力的柔性力傳感器，其特征在于：所述柔性支撐體為柔性多孔結(jié)構(gòu)的支撐塊，所述柔性多孔結(jié)構(gòu)的支撐塊采用柔性多孔硅橡膠材料制成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可測(cè)量法向和切向力的柔性力傳感器，其特征在于：所述柔性支撐體占柔性支架層空間的比例為30%～70%。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可測(cè)量法向和切向力的柔性力傳感器，其特征在于：所述填充氣體為空氣、氮?dú)狻⒍栊詺怏w三者之一。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可測(cè)量法向和切向力的柔性力傳感器，其特征在于：所述上柔性電極板層和下柔性電極板層為平板狀電極，所述平板狀電極采用柔性導(dǎo)電橡膠或者以柔性硅橡膠材料為基體表面鍍上導(dǎo)電層制成。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可測(cè)量法向和切向力的柔性力傳感器，其特征在于：所述柔性支架層分別與上柔性電極板層和下柔性電極板層通過粘合劑粘接在一起，或者澆筑成一體。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可測(cè)量法向和切向力的柔性力傳感器，其特征在于：所述檢測(cè)電路單元由柔性封包層以及埋置于柔性封包層中的電子元件和柔性導(dǎo)線組成；所述柔性封包層設(shè)置于下柔性電極板層的底部正下方，其上開設(shè)有通孔，所述通孔中灌注有導(dǎo)電膠水，所述電子元件通過導(dǎo)電膠水與下柔性電極板層電連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的可測(cè)量法向和切向力的柔性力傳感器，其特征在于：所述柔性封包層采用柔性硅橡膠材料制成。