[發明專利]用于單晶硅制備的鉬導流筒在審
| 申請號: | 201410560296.2 | 申請日: | 2014-10-19 |
| 公開(公告)號: | CN104357896A | 公開(公告)日: | 2015-02-18 |
| 發明(設計)人: | 王東芹 | 申請(專利權)人: | 鎮江大成新能源有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 212000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 單晶硅 制備 導流 | ||
1.用于單晶硅制備的鉬導流筒,包括外導流筒(1)、內導流筒(2)和螺栓(3),其特征在于,所述外導流筒(1)為石墨材料制成,外導流筒(1)為法蘭盤結構,外導流筒(1)底面中心位置加工有錐孔(101),所述錐孔(101)頂面加工有一圓形凸臺(102),所述內導流筒(2)套在外導流筒(1)內孔里,內導流筒(2)底面中心位置有一圓形凹槽(201),所述內導流筒(2)凹槽(201)卡在外導流筒(1)凸臺(102)上,所述內導流筒(2)為法蘭盤結構,內導流筒(2)法蘭底面通過螺栓固定在外導流筒(1)法蘭頂面上,所述內導流筒(2)為鉬材料制成。
2.如權利要求1所述的用于單晶硅制備的鉬導流筒,其特征在于:所述螺栓(3)為材料鉬材料。
3.如權利要求1所述的用于單晶硅制備的鉬導流筒,其特征在于:所述外導流筒(1)和內導流筒(2)配合接觸處安裝有密封墊。
4.如權利要求1所述的用于單晶硅制備的鉬導流筒,其特征在于:所述外導流筒(1)和內導流筒(2)厚度都為5~10mm。
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