[發明專利]基于表面等離子體共振的高靈敏度寬測量范圍的折射率傳感器

有效

• 申請號: 201410558015.X
• 申請日: 2014-10-20
• 公開（公告）號: CN104280363A
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 趙春柳;王小明;王雁茹;時菲菲
• 申請（專利權）人: 中國計量學院
• 主分類號: G01N21/41
• 分類號: G01N21/41;G01N21/55
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.基于表面等離子體共振的高靈敏度寬測量范圍的折射率傳感器，包括：激光光源、光隔離器、偏振控制器、微流通道、側邊拋磨單模光纖、載玻片上鍍有金膜的芯片、光譜儀、微流泵，其特征在于：

激光光源的輸出端與光隔離器輸入端相連，光隔離器的輸出端與偏振控制器相連，側邊拋磨單模光纖的一端與偏振控制器的輸出端相連，側邊拋磨單模光纖的另一端與光譜儀相連，微流泵的輸出端與微流通道的輸入端相連，載玻片上鍍有金膜的芯片覆蓋到微流通道上；

利用光刻蝕技術在側邊拋磨單模光纖的殘余包層形成微流通道，微流通道與光的傳輸方向垂直，微流通道槽的深度在1nm到15nm之間，微流通道的寬度小于等于1μm，微流通道的最大進樣體積為10μL；載玻片上鍍有金膜的芯片是利用離子濺射技術在載玻片表面濺射金膜，金膜的厚度在30nm到50nm之間，表面粗糙度的均方根小于等于3nm；側邊拋磨單模光纖剩余包層的厚度在100nmm到200nm之間，保證基模耦合到SPR傳感區；SPR傳感區由載玻片上鍍有金膜的芯片、微流通道和側邊拋磨單模光纖組成，微流通道中折射率的變化，引起SPR諧振波長的漂移，載玻片上鍍有金膜的芯片和微流通道的界面處具有比較大的有效折射率差提高測量范圍；光譜儀作為信號測試系統。