[發明專利]一種固結磨料化學機械拋光鉭的加工方法

有效

• 申請號: 201410556164.2
• 申請日: 2014-10-20
• 公開（公告）號: CN104400619A
• 公開（公告）日: 2015-03-11
• 發明（設計）人: 李軍;宋龍龍;朱永偉;左敦穩;黃建東
• 申請（專利權）人: 南京航空航天大學
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;B24B37/005;C09G1/04
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 瞿網蘭

1.一種固結磨料化學機械拋光鉭的加工方法，其特征是：采用固結磨料拋光墊對鉭進行拋光加工，加工過程中控制拋光壓力在10~100?kpa之間，拋光墊的轉速控制在50~150rpm之間，拋光液的pH值調節在8~11之間，拋光液的溫度控制在20~30℃范圍內，拋光液流速在80~150?ml/min之間，直至表面質量滿足設定要求。

2.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于所述的固結拋光墊為氧化鈰固結磨料拋光墊，固結磨料的粒度不大于5微米。

3.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于所述的拋光液為不含磨料的去離子水、表面活性劑、絡合劑和pH調節劑組成，表面活性劑的體積分數為0.1%-1.0%，絡合劑的質量分數為0.5%-5.0%，余量為去離子水和pH調節劑。

4.根據權利要求1或3所述的加工方法，其特征在于所述的拋光液的表面活性劑是烷基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚或壬基酚聚氧乙烯醚中的一種或一種以上的組合。

5.根據權利要求1或3所述的加工方法，其特征在于所述的拋光液的絡合劑為乙二胺四甲叉磷酸鈉、酒石酸或三乙醇胺中的一種或一種以上的組合。

6.根據權利要求1或3所述的加工方法，其特征在于所述的拋光液的pH值調節劑為磷酸、乙酸、檸檬酸、氨水、羥基胺、四甲基氫氧化銨或乙二胺中的一種或一種以上的組合。