[發明專利]一種襯底可重復利用的大功率發光二極管外延結構有效
| 申請號: | 201410551438.9 | 申請日: | 2014-10-17 |
| 公開(公告)號: | CN104332535A | 公開(公告)日: | 2015-02-04 |
| 發明(設計)人: | 林志偉;陳凱軒;張永;卓祥景;姜偉;楊凱;蔡建九;白繼鋒;劉碧霞 | 申請(專利權)人: | 廈門乾照光電股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L33/00 | 分類號: | H01L33/00;H01L33/12;H01L33/02 |
| 代理公司: | 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203 | 代理人: | 廖吉保;唐紹烈 |
| 地址: | 361000 福建省廈門市火炬*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 襯底 重復 利用 大功率 發光二極管 外延 結構 | ||
1.一種襯底可重復利用的大功率發光二極管外延結構,其特征在于:包括外延襯底、襯底保護層、氧化剝離層、外延保護層、金屬反射層及外延發光結構;在外延襯底與外延發光結構之間設置氧化剝離層,氧化剝離層與外延發光結構之間設置外延保護層,氧化剝離層與外延襯底之間設置襯底保護層;在外延發光結構上設置金屬反射層,在金屬反射層上設置基板。
2.如權利要求1所述的一種襯底可重復利用的大功率發光二極管外延結構,其特征在于:氧化剝離層的構成材料包括AlAs與氧化鋁的混合物及其化合物。
3.如權利要求1所述的一種襯底可重復利用的大功率發光二極管外延結構,其特征在于:氧化剝離層的厚度為30-100nm。
4.如權利要求1所述的一種襯底可重復利用的大功率發光二極管外延結構,其特征在于:外延保護層為由第一外延保護層與第二外延保護層構成的雙層結構。
5.如權利要求4所述的一種襯底可重復利用的大功率發光二極管外延結構,其特征在于:第一外延保護層的構成材料包括?(AlxGa1-x)0.5In0.5P,0≤x≤1;第二外延保護層的構成材料包括AlyGa1-yAs,0≤y≤0.5。
6.如權利要求1所述的一種襯底可重復利用的大功率發光二極管外延結構,其特征在于:襯底保護層的構成材料包括?(AlxGa1-x)0.5In0.5P,0≤x≤0.5。
7.如權利要求1所述的一種襯底可重復利用的大功率發光二極管外延結構,其特征在于:外延發光結構由第一型電流擴展層、第一型限制層、有源層、第二型限制層及第二型電流擴展層構成;有源層一側設置第一型電流擴展層,在第一型電流擴展層與有源層之間設置第一型限制層;有源層另一側設置第二型電流擴展層,在第二型電流擴展層與有源層之間設置第二型限制層。
8.如權利要求7所述的一種襯底可重復利用的大功率發光二極管外延結構,其特征在于:第一型電流擴展層、第一型限制層及第二型限制層的構成材料包括?(AlxGa1-x)0.5In0.5P、AlyGa1-yAs,0≤x≤1,0≤y≤0.5;有源層的構成材料包括(AlxGa1-x)0.5In0.5P、AlyGa1-yAs,0≤x≤1,0≤y≤0.5;第二型電流擴展層的構成材料包括(AlxGa1-x)0.5In0.5P、AlyGa1-yAs、GaP,0≤x≤1,0≤y≤0.5。
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