[發明專利]壓力傳送器

在審

• 申請號: 201410551141.2
• 申請日: 2014-10-17
• 公開（公告）號: CN104568285A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發明（設計）人: 有田節男;桑名諒;馬場淳史;伏見篤;新間大輔;花見英樹;原勛;伊藤崇
• 申請（專利權）人: 株式會社日立制作所
• 主分類號: G01L7/08
• 分類號: G01L7/08
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 呂林紅

技術領域

本發明涉及壓力傳送器，特別是涉及較佳地適合于在放射線環境、高溫環境下使用的壓力傳送器。

背景技術

壓力傳送器利用填充于導壓路內的封入液將由隔膜承受的流體的壓力傳遞到壓力傳感器，向外部傳送由壓力傳感器檢測到的電信號，有測量絕對壓力的壓力傳送器和測量壓差的壓力傳送器。

這些壓力傳送器被用于以原子能設備為首的石油精制設備、化學設備等的處理流體的各種測量，從確保設備的安全和確保制品的質量的點出發，例如要求±1％的精度。可是，在長期的使用中，處理流體所含有的氫(氫原子、氫分子、氫離子)的一部分透過隔膜，成為氣泡而積存在導壓路中。由此，導壓路內部的壓力上升，壓力傳遞特性劣化，因此難以保持測量精度。

因此，以往以來，抑制透過隔膜而侵入到壓力傳送器的內部的氫的影響的各種技術被提出。例如，在下述專利文獻1中公開了以下的技術，即，通過在隔膜中的、與封入液接觸的一面形成氫吸藏合金膜，使氫吸藏合金膜捕獲透過了隔膜的氫，根據這樣的技術，能夠抑制封入液中的氣泡的產生而維持壓力傳遞特性。

專利文獻1：日本特開2005－114453號公報

可是，上述的以往技術是用于降低從壓力傳送器的外部透過了隔膜的氫的影響的技術，沒有考慮在壓力傳送器的內部所產生的氣體、和透過隔膜侵入到內部的氫。即，在放射線環境、高溫環境等特殊環境下，被填充在壓力傳送器的導壓路內的封入液因放射線和熱而分解，產生氫、碳化氫類的氣體。由于所產生的氣體一旦超過封入液的溶解度就會氣泡化，所以即使這樣壓力傳送器中的壓力傳遞特性也會劣化。

發明內容

因此，本發明的目的在于，提供一種能夠可靠地抑制導壓路內的氣泡的產生，由此能夠長期維持壓力傳遞特性的壓力傳送器。

用于解決課題的手段

為了達到這樣的目的的本發明的壓力傳送器具備：管狀的導壓路；封入液，被填充在上述導壓路內；受壓隔膜，在閉塞上述導壓路的一方的開口的狀態下被設置，承受測量流體的壓力；以及壓力傳感器，在被暴露于上述封入液的狀態下設于上述導壓路的另一方的開口，上述封入液是含有苯基的硅油，該壓力傳送器具有設于上述導壓路的內部的氫吸藏材料。

發明的效果

根據如以上那樣的結構的本發明的壓力傳送器，抑制由于導壓路內的封入液的分解而造成的氣體的產生，并且通過封入液中的氫被氫吸藏材料吸藏，也抑制氣體的產生，因此，能夠謀求導壓路內部的壓力的穩定化，能夠長期維持壓力傳遞特性。

附圖說明

圖1是表示第1實施方式的壓力傳送器的結構的圖。

圖2是說明基于氫吸藏材料的氫吸藏的圖。

圖3是表示導壓路中的氫吸藏材料的配置例的圖。

圖4是說明伽馬射線對封入液的照射試驗的圖。

圖5是表示伽馬射線的累計輻射劑量和封入液中的氣體產生量的關系的曲線圖。

圖6是說明基于伽馬射線的照射的封入液的分解和基于氫吸藏材料的氫吸藏的圖。

圖7是表示第2實施方式的壓力傳送器的結構的圖。

圖8是表示受壓隔膜中的氫透過防止層的配置例的圖。

圖9是表示第3實施方式的壓力傳送器的結構的圖。

圖10是表示第4實施方式的壓力傳送器的結構的圖。

圖11是表示原子能設備中的壓差傳送器的應用例的圖。

具體實施方式

以下，基于附圖，按照以下所示的順序說明本發明的實施方式。

1.第1實施方式(壓差測量用的壓力傳送器)

2.第2實施方式(設有氫透過防止層的壓差測量用的壓力傳送器)

3.第3實施方式(絕對壓力測量用的壓力傳送器)

4.第4實施方式(具備中間隔膜的壓力傳送器)

5.第5實施方式(原子能設備中的壓力傳送器的應用例)

《第1實施方式》

(壓差測量用的壓力傳送器)

圖1是表示第1實施方式的壓力傳送器的結構的圖。該圖所示的壓力傳送器1用于以各種設備中的處理流體為測量流體的壓力測量，測量2點間(高壓側和低壓側)的壓力差。

＜壓力傳送器1的結構＞