[發(fā)明專利]EUV光源和曝光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410549374.9
• 申請日: 2014-10-16
• 公開（公告）號: CN105573061B
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 伍強;岳力挽;徐依協(xié)
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 應(yīng)戰(zhàn),駱蘇華

1.一種EUV光源，其特征在于，包括：

液滴陣列，所述液滴陣列包括沿掃描方向排布的若干噴嘴，若干噴嘴適于依次向下方的輻射位置噴吐液滴；

激光源，適于產(chǎn)生第一激光束和第二激光束，并使第一激光束和第二激光束分別沿掃描方向掃描，交替的轟擊到達輻射位置的不同排的液滴，液滴受到第一激光束或第二激光束轟擊時形成等離子體，等離子體輻射極紫外光；

聚光器，所述聚光器包括聚光鏡和與聚光鏡連接的第一驅(qū)動裝置，第一驅(qū)動裝置適于驅(qū)動所述聚光鏡旋轉(zhuǎn)掃描，使得聚光鏡收集輻射的極紫外光，并將收集的極紫外光匯聚于中心焦點，所述聚光鏡包括分離的上部分聚光鏡和下部分聚光鏡，上部分聚光鏡位于下部分聚光鏡上方，所述上部分聚光鏡包括分離的至少兩個第一子聚光鏡，所述下部分聚光鏡包括分立的至少兩個第二子聚光鏡，所述第一驅(qū)動裝置包括至少兩個第一子驅(qū)動裝置和至少兩個第二子驅(qū)動裝置，每個第一子驅(qū)動裝置與一個第一子聚光鏡連接，每個第二子驅(qū)動裝置與一個第二子聚光鏡連接，所述至少兩個第一子驅(qū)動裝置驅(qū)動對應(yīng)的至少兩個第一子聚光鏡同步旋轉(zhuǎn)掃描，所述至少兩個第二子驅(qū)動裝置驅(qū)動對應(yīng)的至少兩個第二子聚光鏡同步旋轉(zhuǎn)掃描。

2.如權(quán)利要求1所述的EUV光源，其特征在于，液滴陣列上的相鄰噴嘴中心到中心的間距相等。

3.如權(quán)利要求2所述的EUV光源，其特征在于，所述液滴的尺寸為25～35微米，相鄰噴嘴中心到中心的間距為45～75微米。

4.如權(quán)利要求1所述的EUV光源，其特征在于，所述液滴材料為錫、錫合金、錫化合物、氙或鋰。

5.如權(quán)利要求1所述的EUV光源，其特征在于，所述噴嘴的數(shù)量大于等于2個。

6.如權(quán)利要求5所述的EUV光源，其特征在于，所述若干噴嘴沿掃描方向依次包括第一噴嘴、第二噴嘴、第三噴嘴……第N噴嘴，N≥3，在第一噴嘴噴吐第一液滴后，第二噴嘴噴滯后于第一噴嘴第一時間噴吐第二液滴，第三噴嘴滯后于第二噴嘴第一時間噴吐第三液滴……第N噴嘴滯后于第N-1噴嘴第一時間噴吐第N液滴，一個第一液滴和相鄰的一個第二液滴、一個第三液滴……一個第N液滴構(gòu)成一排液滴。

7.如權(quán)利要求6所述的EUV光源，其特征在于，所述激光源沿掃描方向掃描，第一激光束或第二激光束依次轟擊位于輻射位置的一排液滴中的第一液滴、第二液滴、第三液滴……第N液滴。

8.如權(quán)利要求6所述的EUV光源，其特征在于，所述第一噴嘴在噴吐第一滴第一液滴后，間隔第二時間噴吐第二滴第一液滴，第二噴嘴在噴吐第一滴第二液滴后，間隔第二時間噴吐第二滴第二液滴，第三噴嘴在噴吐第一滴第三液滴后，間隔第二時間噴吐第二滴第三液滴……第N噴嘴在噴吐第一滴第N液滴后，間隔第二時間噴吐第二滴第N液滴，第一滴第一液滴、第一滴第二液滴、第一滴第三液滴……第一滴第N液滴構(gòu)成第一排液滴，第二滴第一液滴、第二滴第二液滴、第二滴第三液滴……第二滴第N液滴構(gòu)成第一排液滴構(gòu)成第二排液滴。

9.如權(quán)利要求1所述的EUV光源，其特征在于，所述激光源包括激光器、反射鏡和第二驅(qū)動裝置，所述反射鏡包括第一反射鏡和第二反射鏡，第二驅(qū)動裝置包括第三子驅(qū)動裝置和第四子驅(qū)動裝置，所述第一反射鏡位于第二反射鏡上方，第一反射鏡反射部分激光束，形成第一激光束，第三子驅(qū)動裝置與第一反射鏡連接，第三子驅(qū)動裝置驅(qū)動第一反射鏡旋轉(zhuǎn)，使得第一激光束沿掃描方向掃描；第二反射鏡反射部分激光束，形成第二激光束，所述第四子驅(qū)動裝置與第二反射鏡連接，所述第四子驅(qū)動裝置驅(qū)動第二反射鏡旋轉(zhuǎn)，使得第二激光束沿掃描方向掃描。

10.如權(quán)利要求9所述的EUV光源，其特征在于，所述聚光器位于反射鏡和輻射位置之間，聚光鏡具有橢球型反射面，所述橢球型反射面收集輻射的極紫外光，并將收集的輻射極紫外光反射匯聚于中心焦點，所述第一驅(qū)動裝置與聚光鏡連接，適于驅(qū)動所述聚光鏡旋轉(zhuǎn)掃描，在第一激光束或第二激光束依次轟擊到達輻射位置的液滴形成的輻射極紫外光時，聚光鏡收集輻射的極紫外光，并將收集的輻射極紫外光反射后匯聚于中心焦點。

11.如權(quán)利要求10所述的EUV光源，其特征在于，所述聚光鏡的中心處具有通道，以使反射鏡反射的激光束通過通道傳輸至輻射位置轟擊到達輻射位置的液滴。