[發(fā)明專利]用于引線接合的超聲波換能器與使用超聲波換能器形成引線接合的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410548734.3
• 申請日: 2010-08-10
• 公開（公告）號: CN104465422B
• 公開（公告）日: 2017-06-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: D·A·迪安杰利斯;G·W·舒爾策
• 申請（專利權(quán)）人: 庫利克和索夫工業(yè)公司
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司72002
• 代理人: 陳松濤,王英

1.一種使用耦合至引線接合機(jī)的換能器的接合工具來形成引線接合的方法，所述換能器包括驅(qū)動器，所述方法包括以下步驟：

(1)施加第一頻率的電能給所述驅(qū)動器；以及

(2)在施加所述第一頻率的所述電能的同時施加第二頻率的電能給所述驅(qū)動器，所述第一頻率與所述第二頻率彼此不同，

其中所述方法進(jìn)一步包括使所述驅(qū)動器包括多個壓電元件，各所述多個壓電元件被分成至少兩個彼此電氣隔離的區(qū)域的步驟，并且其中步驟(1)包括施加所述第一頻率的電能給各所述多個壓電元件的所述至少兩個區(qū)域中的第一區(qū)域，且步驟(2)包括施加所述第二頻率的電能給各所述多個壓電元件的所述至少兩個區(qū)域中的第二區(qū)域。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(1)包括施加115kHz的第一頻率的電能給所述驅(qū)動器。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(2)包括施加120kHz的第二頻率的電能給所述驅(qū)動器。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(1)包括施加115kHz的第一頻率的電能給所述驅(qū)動器，且步驟(2)包括施加120kHz的第二頻率的電能給所述驅(qū)動器。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(1)包括施加所述第一頻率及所述第二頻率的電能給各所述多個壓電元件的所述至少兩個區(qū)域中的第一區(qū)域，且步驟(2)包括施加所述第一頻率及所述第二頻率的電能給各所述多個壓電元件的所述至少兩個區(qū)域中的第二區(qū)域。

6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中施加給所述第一區(qū)域及所述第二區(qū)域的所述第一頻率的電能彼此同相，且施加給所述第一區(qū)域及所述第二區(qū)域的所述第二頻率的電能彼此異相。

7.如權(quán)利要求1所述的方法，其中施加所述第一頻率及所述第二頻率的電能給所述驅(qū)動器導(dǎo)致由所述接合工具的尖端產(chǎn)生非線性刷磨。

8.一種使用耦合至引線接合機(jī)的換能器的接合工具來形成引線接合的方法，所述換能器包括驅(qū)動器，所述方法包括以下步驟：

(1)施加第一頻率的電能給所述驅(qū)動器以在第一方向上驅(qū)動所述接合工具的尖端；以及

(2)施加第二頻率的電能給所述驅(qū)動器以在第二方向上驅(qū)動所述接合工具的尖端，所述第一方向不同于所述第二方向，

其中所述方法進(jìn)一步包括使所述驅(qū)動器包括多個壓電元件，各所述多個壓電元件被分成至少兩個彼此電氣隔離的區(qū)域的步驟，并且其中步驟(1)包括施加所述第一頻率的電能給各所述多個壓電元件的所述至少兩個區(qū)域中的第一區(qū)域，且步驟(2)包括施加所述第二頻率的電能給各所述多個壓電元件的所述至少兩個區(qū)域中的第二區(qū)域。

9.如權(quán)利要求8所述的方法，其中對所述驅(qū)動器施加所述第一頻率的電能與對所述驅(qū)動器施加所述第二頻率的電能是同時發(fā)生。

10.如權(quán)利要求8所述的方法，其中對所述驅(qū)動器施加所述第一頻率的電能與對所述驅(qū)動器施加所述第二頻率的電能不是同時發(fā)生。

11.如權(quán)利要求8所述的方法，其中步驟(1)包括施加115kHz的第一頻率的電能給所述驅(qū)動器。

12.如權(quán)利要求8所述的方法，其中步驟(2)包括施加120kHz的第二頻率的電能給所述驅(qū)動器。

13.如權(quán)利要求8所述的方法，其中步驟(1)包括施加115kHz的第一頻率的電能給所述驅(qū)動器，且步驟(2)包括施加120kHz的第二頻率的電能給所述驅(qū)動器。

14.如權(quán)利要求8所述的方法，其中步驟(1)中的所述電能的施加導(dǎo)致所述接合工具的尖端產(chǎn)生大致沿所述引線接合機(jī)的X軸的刷磨，且其中步驟(2)中的所述電能的施加導(dǎo)致所述接合工具的尖端產(chǎn)生大致沿所述引線接合機(jī)的Y軸的刷磨。

15.如權(quán)利要求8所述的方法，其中步驟(1)包括施加所述第一頻率及所述第二頻率的電能給各所述多個壓電元件的所述至少兩個區(qū)域中的第一區(qū)域，且步驟(2)包括施加所述第一頻率及所述第二頻率的電能給各所述多個壓電元件的所述至少兩個區(qū)域中的第二區(qū)域。

16.如權(quán)利要求15所述的方法，其中施加給所述第一區(qū)域的所述第一頻率的電能與施加給所述第二區(qū)域的所述第一頻率的電能彼此同相，且施加給所述第一區(qū)域的所述第二頻率的電能與施加給所述第二區(qū)域的所述第二頻率的電能彼此異相。