[發明專利]一種彈性壓力傳感器矩陣及用于檢測組織彈性的探頭

有效

• 申請號: 201410546030.2
• 申請日: 2014-10-16
• 公開（公告）號: CN105595959B
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發明（設計）人: 王洪超;盧狄克;高國華;李樹峰;曹建
• 申請（專利權）人: 王洪超
• 主分類號: A61B5/00
• 分類號: A61B5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種彈性壓力傳感器矩陣，包括彈性壓力傳感器單元(1)，其特征在于，所述彈性壓力傳感器單元(1) 緊密固定于硬性定型背襯(2) 之上，該彈性壓力傳感器單元(1) 縱列、橫列連接，縱列的彈性壓力傳感器單元(1) 通過經導線(4) 連接，橫列的彈性壓力傳感器單元(1) 通過緯導線(5) 連接，經導線(4)、緯導線(5) 由線纜(6) 導出，所述彈性壓力傳感器單元(1) 以單晶硅為基礎材料, 為邊長1-5mm 的正方形，厚度為0.2-3mm，所述彈性壓力傳感器單元(1) 之間采用單面微距切割展裂的方式，通過硅片晶向裂解的方法，沿裂片槽(8) 展裂壓力傳感器單元上極板，并將壓力傳感器單元緊密粘接固定于單一軸向硬性定型背襯（2）之上，進而由傳感器單元縱橫并列連接成為單一軸向彎曲的彈性壓力傳感器矩陣(3)。

2.根據權利要求1 所述的彈性壓力傳感器矩陣，其特征在于，縱列彈性壓力傳感器單元(1) 為奇數列，奇數列的彈性壓力傳感器單元(1) 數量至少為7 個；橫列彈性壓力傳感器單元(1) 為偶數列，偶數列的彈性壓力傳感器單元(1) 數量至少為8 個。

3.根據權利要求2 所述的彈性壓力傳感器矩陣，其特征在于，將偶數列傳感矩陣單元以單一軸向方式進行均勻曲面化處理。

4.根據權利要求1 所述的彈性壓力傳感器矩陣，其特征在于，所述連接彈性壓力傳感器單元(1) 的經導線(4)、緯導線(5) 為銅導絲、金導絲、轉印的石墨烯導絲中的一種，經導線(4)、緯導線(5) 相互絕緣，并分別連接至經壓焊板片、緯壓焊板片。

5.根據權利要求1所述的彈性壓力傳感器矩陣，其特征在于，所述彈性壓力傳感器單元(1) 的密度最高達250 個/cm2，單點采樣頻率250Hz，壓力傳感矩陣的量程為0-1000kPa之間，壓力綜合測量誤差≤ 5％ F.S。

6. 一種用于檢測組織彈性的探頭，包括柔性膜(7)、彈性壓力傳感器矩陣(3) 和把手(14)，所述彈性壓力傳感器矩陣(3) 上面均勻緊密地覆蓋有柔性膜(7)，其特征在于，所述彈性壓力傳感器矩陣(3) 為上述權利要求1-5任一所述。

7.根據權利要求6所述的用于檢測組織彈性的探頭，其特征在于，所述柔性膜(7)為派瑞林、TPU、派瑞林與TPU 復合膜中的一種。

8. 根據權利要求7 所述的用于檢測組織彈性的探頭，其特征在于，所述探頭表面可設計為平面或曲面，曲率最小至1/5mm。