[發(fā)明專利]薄膜晶體管基板與顯示器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410544999.6
• 申請(qǐng)日: 2014-10-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105575973B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李冠鋒;顏?zhàn)訒F
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 群創(chuàng)光電股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/12
• 分類號(hào): H01L27/12
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 陳小雯

本發(fā)明公開(kāi)一種薄膜晶體管基板與顯示器，該薄膜晶體管基板包括：基板；柵極，位于基板上；柵極絕緣層，位于基板上且覆蓋柵極；主動(dòng)層，配置于柵極絕緣層上；蝕刻停止層，位于主動(dòng)層與柵極絕緣層上；第一開(kāi)口，穿過(guò)該蝕刻停止層并露出該主動(dòng)層的第一部分；源極，位于蝕刻停止層上，并經(jīng)由第一開(kāi)口電連接至主動(dòng)層的第一部分；第一無(wú)機(jī)絕緣層，位于源極與蝕刻停止層上；第二開(kāi)口，穿過(guò)第一無(wú)機(jī)絕緣層與蝕刻停止層并露出主動(dòng)層的第二部分；阻障層，位于第二開(kāi)口的側(cè)壁與底部上且接觸主動(dòng)層的第二部分；有機(jī)絕緣層，位于第一無(wú)機(jī)絕緣層上；第三開(kāi)口，穿過(guò)有機(jī)絕緣層并露出阻障層；透明電極，位于部分有機(jī)絕緣層上且經(jīng)由第三開(kāi)口接觸阻障層。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及薄膜晶體管，且特別是涉及薄膜晶體管基板以及顯示器。

背景技術(shù)

隨著顯示科技日益進(jìn)步，顯示器可使生活更加便利。為求顯示器輕與薄的特性，平面顯示器(flat panel display，F(xiàn)PD)成為目前的主流。在諸多平面顯示器中，液晶顯示器(liquid crystal display，LCD)具有高空間利用效率、低消耗功率、無(wú)輻射、以及低電磁干擾等優(yōu)越特性，因此深受消費(fèi)者歡迎。

液晶顯示器主要是由薄膜晶體管基板、彩色濾光基板、與位于兩基板之間的液晶層所構(gòu)成。薄膜晶體管基板具有多個(gè)薄膜晶體管分別位于多個(gè)像素中。

目前液晶顯示器朝向提高分辨率的方向發(fā)展。然而，受限于目前光刻技術(shù)的分辨率極限，薄膜晶體管中的源極與漏極之間的距離無(wú)法縮小，因此，薄膜晶體管的尺寸無(wú)法縮小，以致于當(dāng)提高分辨率(亦即，縮小各像素的尺寸)時(shí)，像素的開(kāi)口率會(huì)大幅下降。因此，如何縮小薄膜晶體管的尺寸是當(dāng)前的重要課題。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明一實(shí)施例提供的薄膜晶體管基板，包括：基板；柵極，位于基板上；柵極絕緣層，位于基板上且覆蓋柵極；主動(dòng)層，配置于柵極絕緣層上；蝕刻停止層，位于主動(dòng)層與柵極絕緣層上；第一開(kāi)口，穿過(guò)蝕刻停止層并露出主動(dòng)層的第一部分；源極，位于蝕刻停止層上，并經(jīng)由第一開(kāi)口電連接至主動(dòng)層的第一部分；第一無(wú)機(jī)絕緣層，位于源極與蝕刻停止層上；第二開(kāi)口，穿過(guò)第一無(wú)機(jī)絕緣層與蝕刻停止層并露出主動(dòng)層的第二部分；阻障層，位于第二開(kāi)口的側(cè)壁與底部上且接觸主動(dòng)層的第二部分；有機(jī)絕緣層，位于第一無(wú)機(jī)絕緣層上；第三開(kāi)口，穿過(guò)有機(jī)絕緣層并露出阻障層；透明電極，位于部分有機(jī)絕緣層上且經(jīng)由第三開(kāi)口接觸阻障層。

本發(fā)明一實(shí)施例提供的薄膜晶體管基板，包括：基板；柵極，位于基板上；柵極絕緣層，位于基板上且覆蓋柵極；主動(dòng)層，配置于柵極絕緣層上；蝕刻停止層，位于主動(dòng)層與柵極絕緣層上；第一開(kāi)口，穿過(guò)蝕刻停止層并露出主動(dòng)層的第一部分；源極，位于蝕刻停止層上，并經(jīng)由第一開(kāi)口電連接至主動(dòng)層的第一部分；第一無(wú)機(jī)絕緣層，位于源極與蝕刻停止層上；第二開(kāi)口，穿過(guò)第一無(wú)機(jī)絕緣層與蝕刻停止層并露出主動(dòng)層的第二部分；阻障層，位于第二開(kāi)口的側(cè)壁與底部上且接觸主動(dòng)層的第二部分；透明電極，位于部分第一無(wú)機(jī)絕緣層上且接觸阻障層。

本發(fā)明一實(shí)施例提供的顯示器，包括：上述的薄膜晶體管基板；對(duì)向基板，與薄膜晶體管基板相對(duì)設(shè)置；以及顯示介質(zhì)，位于薄膜晶體管基板與對(duì)向基板之間。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明一實(shí)施例中薄膜晶體管基板的剖視圖；

圖2為本發(fā)明一實(shí)施例中薄膜晶體管基板的剖視圖；

圖3為圖2的薄膜晶體管基板的上視圖；

圖4為本發(fā)明一實(shí)施例中薄膜晶體管基板的剖視圖；

圖5為圖4的薄膜晶體管基板的上視圖；

圖6為本發(fā)明一實(shí)施例中薄膜晶體管基板的剖視圖；

圖7為圖6的薄膜晶體管基板的上視圖；

圖8為本發(fā)明一實(shí)施例中薄膜晶體管基板的剖視圖；