[發明專利]微型邁克爾遜干涉儀系統

在審

• 申請號: 201410541855.5
• 申請日: 2014-10-14
• 公開（公告）號: CN104266582A
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 范光照;周浩;李瑞君
• 申請（專利權）人: 合肥工業大學
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.微型邁克爾遜干涉儀系統，其特征在于：包括微型邁克爾遜干涉儀部分、波長補償部分、自動恒功率部分，其中：

所述微型邁克爾遜干涉儀包括半導體激光器，半導體激光器前方激光出射光路上設置有第一分光鏡，第一分光鏡左側鏡面處緊貼設置有第一1/4波片，第一分光鏡前側鏡面處緊設置有第二1/4波片，第一分光鏡右側設置有第二分光鏡，且第一、第二分光鏡之間設置有第三1/4波片，第二分光鏡右側緊貼設置有第三分光鏡，第二分光鏡后側緊貼設置有第四分光鏡，所述第三分光鏡的前側鏡面處緊貼設置有第一光電感測器，第三分光鏡的右側鏡面處緊貼設置有第二光電感測器，所述第四分光鏡的右側鏡面處緊貼設置有第三光電感測器，第四分光鏡的后側鏡面處緊貼設置有第四光電感測器，所述第一分光鏡左側間隔一定距離設置有第五分光鏡，第五分光鏡正后方設置有參考反射鏡，第一分光鏡前方設置有測量反射鏡；半導體激光器發射出的準直光經過第一分光鏡后分成被第一分光鏡反射和透射的兩路準直光，其中一路由第一分光鏡反射的準直光依次經過第一1/4波片、部分被第五分光鏡反射后入射至參考反射鏡，經過參考反射鏡反射后再被第五分光鏡反射并沿原路返回至第一分光鏡，另一路由第一分光鏡透射的準直光經過第二1/4波片后入射至測量反射鏡，經過測量反射鏡反射后沿原路返回至第一分光鏡，參考反射鏡返回的光束經過第一分光鏡透射后、測量反射鏡返回的光束經過第一分光鏡反射后再分別經過第三1/4波片并入射至第二分光鏡，部分返回光束被第二分光鏡透射至第三分光鏡，經第三分光鏡反射、透射后分別入射至第一光電感測器、第二光電感測器，其余部分返回光束被第二分光鏡反射至第四分光鏡，經第四分光鏡反射、透射后分別入射至第三光電感測器、第四光電感測器；

所述波長補償部分包括間隔一定距離設置在第五分光鏡左側的透射式光柵，透射式光柵左前方設置有轉折光路反射鏡，轉折光路反射鏡前方依次設置有聚焦透鏡、四象限光電探測器；半導體激光器出射的由第一分光鏡反射的準直光依次經過第一1/4波片、部分透射過第五分光鏡后入射至透射式光柵，經過透射式光柵形成的一級衍射光經過轉折光路反射鏡轉折反射后，再經過聚焦透鏡入射至四象限光電探測器；

所述自動恒功率部分包括間隔一定距離設置在透射式光柵左側的第五光電探測器，經過透射式光柵形成的零級光柵入射至第五光電探測器。

2.根據權利要求1所述的微型邁克爾遜干涉儀系統，其特征在于：設置可以進行左右偏擺角和前后俯仰角調節的第一參考反射鏡微調座和第二轉折反射鏡微調座，所述參考反射鏡、轉折光路反射鏡分別固定設置在第一參考反射鏡微調座和第二轉折反射鏡微調座上，調節所述第一參考反射鏡微調座，以使參考反射鏡的反射光束和測量反射鏡的反射光束分別在第一光電感測器，第二光電感測器、第三光電感測器和第四光電感測器上重合；調節所述第二轉折反射鏡微調座使經過第五分光鏡分出的部分光通過投射光柵、轉折光路反射鏡及聚焦透鏡照射在四象限光電探測器上。

3.根據權利要求1所述的微型邁克爾遜干涉儀系統，其特征在于：各光學器件的裝夾固定設置為：半導體激光器、透射光柵及第五光電探測器由固定底座固定，第一分光鏡、第一1/4波片、第二1/4波片、第三1/4波片、第二分光鏡、第三分光鏡和第四分光鏡由夾具所夾持，第五分光鏡由C型固定座固定，聚焦透鏡、四象限光電探測器由U型固定座固定，參考反射鏡、轉折光路反射鏡分別由第一參考反射鏡微調座和第二轉折反射鏡微調座固定并進行調節。