[發(fā)明專利]一種浸泡桶

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410541163.0
• 申請(qǐng)日: 2014-10-14
• 公開（公告）號(hào): CN104328505A
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王文廣;鄭王海;汪志才
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江晟輝科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B35/00
• 分類號(hào): C30B35/00
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體材料清洗領(lǐng)域，尤其涉及一種多晶硅原料的清洗浸泡桶。

背景技術(shù)

在多晶硅原料的清洗過程中需進(jìn)行泡酸泡堿工藝，首先將多晶硅原料放入浸泡桶內(nèi)，加入氫氟酸，浸泡一定時(shí)間后可去除多晶硅材料上的金屬雜質(zhì)，然后需要把浸泡桶內(nèi)的氫氟酸全部過濾出來，用離子水沖洗掉多晶硅原料上殘留的氫氟酸后，再向浸泡桶內(nèi)加入強(qiáng)堿氫氧化鈉進(jìn)行泡堿工藝，浸泡一段時(shí)候后再用離子水沖洗多晶硅原料上殘留的氫氧化鈉，將其過濾出來。

在泡酸泡堿工藝中，傳統(tǒng)的浸泡桶進(jìn)行多晶硅原料與氫氟酸或強(qiáng)堿氫氧化鈉分離時(shí)，需將浸泡桶傾斜慢慢倒出內(nèi)部的氫氟酸或氫氧化鈉溶液，在清洗多晶硅原料上的殘留液時(shí)需要用離子水反復(fù)沖洗然后倒出來，整個(gè)過程效率較低而且殘留液也不易快速清理干凈，還可能因附著的殘留物而影響產(chǎn)品的質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)上述現(xiàn)有問題，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于提供一種浸泡桶，能在浸泡工藝中提高多晶硅原料與氫氟酸或氫氧化鈉分離的工作效率，提高清洗質(zhì)量，減少清洗后的溶液殘留。

為了解決上述的技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種浸泡桶，包括桶體和進(jìn)料口，進(jìn)料口設(shè)于桶體的頂部。桶體內(nèi)的下部設(shè)有水平放置的隔層板，隔層板上均勻分布有通孔，使溶液能快速通過隔層板，清洗時(shí)便于與隔層板上的多晶硅原料過濾分離。

桶體底部設(shè)有溶液排放管，該排放管上安裝有控制閥以控制其打開和關(guān)閉的狀態(tài)，隔層板的水平位置高于溶液排放管的水平位置，優(yōu)選地，該排放管的管口位置盡量靠近浸泡桶底部，以保證完成浸泡、清洗的溶液或離子水能完全排出。

優(yōu)選地，浸泡桶的頂部連接有進(jìn)氣管，用于通入壓縮空氣，進(jìn)氣管另一端連通至隔層板與浸泡桶桶體的底部之間。進(jìn)氣管在桶體底部的一端管口連接有連通器，該連通器上均布有多個(gè)氣孔，優(yōu)選地，連通器可呈十字交叉形、圓形或方形等其他形狀位于浸泡桶底部。向該進(jìn)氣管通入壓縮空氣時(shí)，壓縮空氣將透過隔層板向上運(yùn)動(dòng)同時(shí)產(chǎn)生很多氣泡，帶動(dòng)周圍的酸、堿溶液及多晶硅原料不斷振動(dòng)，使酸堿浸泡或清洗的過程更充分。

優(yōu)選地，隔層板、進(jìn)氣管、連通器和溶液排放管均為耐酸耐堿材料制成。

本發(fā)明的技術(shù)方案有如下有益效果：該浸泡桶不僅能方便地過濾出清洗多晶硅原料的氫氟酸和氫氧化鈉溶液，而且壓縮空氣的通入提高了清洗氫氟酸、氫氧化鈉溶液和泡堿工藝的效率，縮短了泡酸泡堿工藝的時(shí)間，減輕了人工勞動(dòng)強(qiáng)度，同時(shí)也降低企業(yè)的生產(chǎn)成本。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定，在附圖中：

圖1為浸泡桶的主視圖；

圖2為浸泡桶的左視圖；

圖3為浸泡桶的俯視圖。

附圖中的標(biāo)記：1進(jìn)料口，2桶體，3進(jìn)氣管，4連通器，5隔層板，6溶液排放管，7控制閥。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖以及具體實(shí)施例來說明本發(fā)明。

如圖1～圖3所示，一種浸泡桶，包括桶體2和進(jìn)料口1，進(jìn)料口1設(shè)于桶體2的頂部。桶體2內(nèi)的下部設(shè)有隔層板5，隔層板5上均勻分布有通孔，使溶液能快速通過隔層板5，清洗時(shí)便于與隔層板5上的多晶硅原料過濾分離。

桶體2底部設(shè)有溶液排放管6，該溶液排放管6上安裝有控制閥7以控制其打開和關(guān)閉的狀態(tài)，隔層板5的位置高于溶液排放管6的位置，優(yōu)選地，該排放管6的管口位置盡量靠近浸泡桶底部，以保證完成浸泡、清洗的溶液或離子水能完全排出。

進(jìn)一步地，浸泡桶的頂部連接有進(jìn)氣管3，用于通入壓縮空氣，進(jìn)氣管3另一端連通至隔層板5與浸泡桶桶體2的低部之間。進(jìn)氣管3在桶體底部的一端管口連接有連通器4，該連通器4上均布有多個(gè)氣孔，優(yōu)選地，連通器4可呈十字交叉形、圓形或方形等其他形狀位于浸泡桶底部。向該進(jìn)氣管3通入壓縮空氣時(shí)，壓縮空氣將透過隔層板5向上運(yùn)動(dòng)同時(shí)產(chǎn)生很多氣泡，帶動(dòng)周圍的酸、堿溶液及多晶硅原料不斷振動(dòng)，使酸堿浸泡或清洗的過程更充分。