[發明專利]觸摸面板及其制作方法

在審

• 申請號: 201410539487.0
• 申請日: 2014-10-13
• 公開（公告）號: CN104298403A
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發明（設計）人: 葉本銀;葉虹吶;王錫彬;柳皓笛
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041;G06F3/044
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;陳源

1.一種觸摸面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供多個藍寶石基片；

提供載體模具，所述載體模具包括基體，所述基體上形成有與多個所述藍寶石基片相對應的多個凹槽；

將多個所述藍寶石基片放在相對應的凹槽內；

在所述藍寶石基片上形成感應層。

2.根據權利要求1所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述制作方法還包括在所述藍寶石基片上形成感應層之前進行的：在藍寶石基片上形成用于粘附感應層的粘附層。

3.根據權利要求2所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述感應層包括氧化銦錫制成的觸控電極，所述粘附層包括硅的氮化物膜和/或硅的氧化物膜。

4.根據權利要求3所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述粘附層包括硅的氮化物膜和硅的氧化物膜；

在藍寶石基片上形成粘附層的步驟包括：

將承載有藍寶石基片的載體模具放入工藝腔室，向工藝腔室內通入硅烷、氨氣和氮氣的混合氣體，以在所述藍寶石基片上形成硅的氮化物膜；

向工藝腔室內通入硅烷和一氧化二氮的混合氣體，以在所述硅的氮化物膜上形成硅的氧化物膜。

5.根據權利要求4所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述工藝腔室為真空腔室。

6.根據權利要求2所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述制作方法還包括：在所述粘附層上形成遮光件，所述遮光件環繞在所述觸摸面板的感應區域周圍。

7.根據權利要求1至6中任意一項所述的制作方法，其特征在于，所述凹槽的長度比設置在該凹槽內的藍寶石基片的長度大0.05～0.25mm；和/或

所述凹槽的寬度比設置在該凹槽內的藍寶石基片的寬度大0.05～0.25mm。

8.根據權利要求1至6中任意一項所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，制作載體模具的步驟包括：

提供基體；

利用光刻構圖工藝在所述基體上形成與多個所述藍寶石基片相對應的多個凹槽。

9.根據權利要求1至6中任意一項所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，在所述藍寶石基片上形成感應層的步驟包括：

在所述藍寶石基片上形成氧化銦錫膜層；

通過光刻構圖工藝在所述氧化銦錫膜層上形成包括多組觸控電極的圖形。

10.根據權利要求9所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，每組所述觸控電極包括第一電極和第二電極，所述第一電極和第二電極為梳狀電極，在每組所述觸控電極中，所述第一電極和所述第二電極的梳齒交替設置。

11.一種觸摸面板，其特征在于，所述觸摸面板由權利要求1至10中任意一項所述的制作方法制成。