[發(fā)明專利]全自動(dòng)晶圓激光打標(biāo)機(jī)及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410537962.0
• 申請(qǐng)日: 2014-10-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104385786B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龔傳波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 龔傳波
• 主分類號(hào): B41J2/435
• 分類號(hào): B41J2/435;B41J29/38
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙)32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種全自動(dòng)晶圓激光打標(biāo)機(jī)，其特征在于，包括：

機(jī)械手系統(tǒng)，用于取放和移送晶圓，并向CCD系統(tǒng)發(fā)送晶圓到位信號(hào)；

CCD系統(tǒng)，用于接收晶圓到位信號(hào)，掃描和處理晶圓實(shí)時(shí)圖像信息，其包括CCD定位系統(tǒng)，用于檢測(cè)晶圓的位置偏差并向激光打標(biāo)系統(tǒng)傳遞偏差信號(hào)；

激光打標(biāo)系統(tǒng)，用于根據(jù)CCD定位系統(tǒng)的偏差信號(hào)調(diào)整激光光束進(jìn)行打標(biāo)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)晶圓激光打標(biāo)機(jī)，其特征在于，所述CCD系統(tǒng)還包括CCD識(shí)別系統(tǒng)，用于識(shí)別晶圓的正反面和判斷晶圓的正反面信息與所需打標(biāo)面信息是否一致。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全自動(dòng)晶圓激光打標(biāo)機(jī)，其特征在于，還包括翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)，用于根據(jù)所述CCD識(shí)別系統(tǒng)發(fā)出的信號(hào)控制晶圓翻轉(zhuǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)晶圓激光打標(biāo)機(jī)，其特征在于，所述激光打標(biāo)系統(tǒng)包括振鏡，用于調(diào)整激光光束的位置。

5.一種全自動(dòng)晶圓激光打標(biāo)方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)機(jī)械手系統(tǒng)將晶圓放置在焦點(diǎn)定位平臺(tái)上，并向CCD系統(tǒng)發(fā)出晶圓到位信號(hào)；

2)CCD系統(tǒng)接收到晶圓到位信號(hào)后，掃描晶圓實(shí)時(shí)圖像信息；

3)CCD定位系統(tǒng)對(duì)掃描到的晶圓實(shí)時(shí)圖像信息進(jìn)行位置偏差檢測(cè)，當(dāng)存在位置偏差時(shí)，向激光打標(biāo)系統(tǒng)發(fā)送位置偏差信息；

4)激光打標(biāo)系統(tǒng)根據(jù)位置偏差信息調(diào)整激光光束進(jìn)行打標(biāo)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的全自動(dòng)晶圓激光打標(biāo)方法，其特征在于，所述步驟3)具體為：將掃描到的晶圓實(shí)時(shí)圖像信息與預(yù)先定義的晶圓圖像信息中的特征位置進(jìn)行對(duì)比，當(dāng)存在特征位置偏差時(shí)，發(fā)出偏差信息。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的全自動(dòng)晶圓激光打標(biāo)方法，其特征在于，還包括識(shí)別翻轉(zhuǎn)步驟，CCD識(shí)別系統(tǒng)對(duì)晶圓正反面進(jìn)行識(shí)別，當(dāng)識(shí)別到晶圓的正反面信息與所需打標(biāo)面信息不一致時(shí)，向翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)發(fā)送信號(hào)，翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)控制晶圓翻轉(zhuǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的全自動(dòng)晶圓激光打標(biāo)方法，其特征在于，所述對(duì)晶圓正反面進(jìn)行識(shí)別具體是根據(jù)晶圓正反面光潔度的差異來(lái)判斷的。