[發明專利]全自動晶圓激光打標機及方法有效
| 申請號： | 201410537962.0 | 申請日： | 2014-10-13 |
| 公開（公告）號： | CN104385786B | 公開（公告）日： | 2017-02-15 |
| 發明（設計）人： | 龔傳波 | 申請（專利權）人： | 龔傳波 |
| 主分類號： | B41J2/435 | 分類號： | B41J2/435;B41J29/38 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙)32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210038 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 全自動 激光 打標機 方法 | ||
1.一種全自動晶圓激光打標機，其特征在于，包括：
機械手系統，用于取放和移送晶圓，并向CCD系統發送晶圓到位信號；
CCD系統，用于接收晶圓到位信號，掃描和處理晶圓實時圖像信息，其包括CCD定位系統，用于檢測晶圓的位置偏差并向激光打標系統傳遞偏差信號；
激光打標系統，用于根據CCD定位系統的偏差信號調整激光光束進行打標。
2.根據權利要求1所述的全自動晶圓激光打標機，其特征在于，所述CCD系統還包括CCD識別系統，用于識別晶圓的正反面和判斷晶圓的正反面信息與所需打標面信息是否一致。
3.根據權利要求2所述的全自動晶圓激光打標機，其特征在于，還包括翻轉系統，用于根據所述CCD識別系統發出的信號控制晶圓翻轉。
4.根據權利要求1所述的全自動晶圓激光打標機，其特征在于，所述激光打標系統包括振鏡，用于調整激光光束的位置。
5.一種全自動晶圓激光打標方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)機械手系統將晶圓放置在焦點定位平臺上，并向CCD系統發出晶圓到位信號；
2)CCD系統接收到晶圓到位信號后，掃描晶圓實時圖像信息；
3)CCD定位系統對掃描到的晶圓實時圖像信息進行位置偏差檢測，當存在位置偏差時，向激光打標系統發送位置偏差信息；
4)激光打標系統根據位置偏差信息調整激光光束進行打標。
6.根據權利要求5所述的全自動晶圓激光打標方法，其特征在于，所述步驟3)具體為：將掃描到的晶圓實時圖像信息與預先定義的晶圓圖像信息中的特征位置進行對比，當存在特征位置偏差時，發出偏差信息。
7.根據權利要求5所述的全自動晶圓激光打標方法，其特征在于，還包括識別翻轉步驟，CCD識別系統對晶圓正反面進行識別，當識別到晶圓的正反面信息與所需打標面信息不一致時，向翻轉系統發送信號，翻轉系統控制晶圓翻轉。
8.根據權利要求7所述的全自動晶圓激光打標方法，其特征在于，所述對晶圓正反面進行識別具體是根據晶圓正反面光潔度的差異來判斷的。
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