[發明專利]一種新型微型慣性測量單元組合

有效

• 申請號: 201410536806.2
• 申請日: 2014-10-13
• 公開（公告）號: CN104296746B
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發明（設計）人: 郭述文
• 申請（專利權）人: 北方電子研究院安徽有限公司
• 主分類號: G01C21/16
• 分類號: G01C21/16;G01C19/56;G01P15/125
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司32103
• 代理人: 范晴

1.一種新型微型慣性測量單元組合，包括基座，其特征在于，所述基座為平面型，在與基座平行的平面上焊接有兩個梳齒式結構的加速度計、一個單支點扭擺式結構的加速度計、兩個單支點角振動結構的陀螺和一個線振動結構的陀螺，所述單支點扭擺式結構的加速度計的下電極采用差分電容進行檢測，所述線振動結構的陀螺用于檢測由于x軸方向的運動引起的電容變化間接得到z軸角速度；一個梳齒式結構的加速度計和一個單支點角振動結構的陀螺的敏感軸沿x軸方向，用于檢測x軸方向的加速度和角速度，另一個梳齒式結構的加速度計和另一個單支點角振動結構的陀螺的敏感軸沿y軸方向，用于檢測y軸方向的加速度和角速度，所述單支點扭擺式結構的加速度計和線振動結構的陀螺的敏感軸沿z軸方向，用于檢測z軸方向的加速度和角速度。

2.根據權利要求1所述的新型微型慣性測量單元組合，其特征在于，所述基座平行分層設置。

3.根據權利要求2所述的新型微型慣性測量單元組合，其特征在于，所述基座有三層，第一層和第二層分別焊接有一個梳齒式結構的加速度計和一個單支點角振動結構的陀螺，第三層焊接有一個單支點扭擺式結構的加速度計和一個線振動結構的陀螺。