[發明專利]一種聲表面波器件測試裝置及其測試方法

有效

• 申請號: 201410535909.7
• 申請日: 2014-10-11
• 公開（公告）號: CN104316787A
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 文常保;楊窕;朱博;巨永鋒;李演明;全思
• 申請（專利權）人: 長安大學
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 西安恒泰知識產權代理事務所 61216
• 代理人: 李鄭建;王芳

1.一種聲表面波器件測試裝置，包括矢量網絡分析儀和BNC連接組件，其特征在于，還包括測試校準裝置；所述BNC連接組件將矢量網絡分析儀與測試校準裝置相連接。

2.如權利要求1所述的一種聲表面波器件測試裝置，其特征在于，所述的BNC連接組件包括BNC轉接頭J6、J7、J11、J12，其中，BNC轉接頭J6公頭連接矢量網絡分析儀的輸出端口，BNC轉接頭J6母頭連接BNC轉接頭J11一端公頭；BNC轉接頭J7公頭連接矢量網絡分析儀的輸入端口，BNC轉接頭J7母頭連接BNC轉接頭J12一端公頭。

3.如權利要求2所述的一種聲表面波器件測試裝置，其特征在于，所述的測試校準裝置包括BNC轉接頭J1、J2、J3、J4、J5、J8、J9和J10，第一同軸信號連接線和第二同軸信號連接線，6個開關S0、S1、S2、S3、S4和S5，1個24腳底座，其中：

所述開關S1的1引腳接BNC轉接頭J1的內針引腳，2引腳接24腳底座的6號引腳，BNC轉接頭J2的內針引腳接24腳底座的19號引腳，24腳底座的3、5、21號引腳與BNC轉接頭J1外圍的四個引腳連接，24腳底座的20、4、22號引腳與BNC轉接頭J2外圍的四個引腳連接；

所述開關S2的1引腳接開關S0的1引腳，開關S2的2引腳與BNC轉接頭J3的內針引腳相連，BNC轉接頭J3外圍的四個引腳與開關S0的6引腳相連，BNC轉接頭J3與BNC轉接頭J8公頭相連；

所述開關S3的1引腳接開關S0的1引腳，開關S3的2引腳與BNC轉接頭J4的內針引腳相連，BNC轉接頭J4外圍的四個引腳與開關S0的6引腳相連，BNC轉接頭J4與BNC轉接頭J9公頭相連；

所述開關S4的1引腳接開關S0的1引腳，開關S4的2引腳與BNC轉接頭J5的內針引腳相連，BNC轉接頭J5外圍的四個引腳與開關S0的6引腳相連，BNC轉接頭J5與BNC轉接頭J10公頭相連；

所述開關S5的1引腳接BNC轉接頭J1的內針引腳，開關S5的2引腳接第一同軸信號連接線的內針引線1，第一同軸信號連接線的外圍引線3接J1的外圍的四個引腳，第二同軸信號連接線的內針引線2與J2的內針引線相連，第二同軸信號連接線的外圍引線4與J2的外圍引腳相連；

所述開關S0的2、3、4、5號四個引腳分別接J2內針引腳、J1內針引腳、J1外圍引腳、J2外圍引腳。

4.一種利用權利要求3所述的聲表面波器件測試裝置進行聲表面波器件測試的方法，包括以下步驟：

1)將轉接頭J6公頭與矢量網絡分析儀輸出端口連接，轉接頭J7公頭與矢量網絡分析儀輸入端口連接；短路套件與轉接頭J8母頭連接，開路套件與轉接頭J9母頭連接，負載套件與轉接頭J10母頭連接，將第一同軸信號連接線的公頭和第二同軸信號連接線的公頭通過傳輸套件連接。

2)選擇矢量網絡分析儀端口進行不同類型的校準

開路校準：開關S0斷開，開關S2閉合，對輸出端口進行開路校準；開關S0閉合，開關S2閉合對輸入端口進行開路校準；其他開關斷開；

短路校準：開關S0斷開，開關S3閉合，對輸出端口進行短路校準，開關S0閉合，開關S3閉合對輸入端口進行短路校準；其他開關斷開；

負載校準：開關S0斷開，開關S4閉合，對輸出端口進行負載校準，開關S0閉合，開關S4閉合對輸入端口進行負載校準；其他開關斷開；

傳輸校準：開關S5閉合，對矢量網絡分析儀進行傳輸校準；其他開關斷開。

3)待校準完成后，確保其他開關斷開，閉合開關S1，進行聲表面波器件的測試。