[發(fā)明專利]一種高精度紫外光譜輻照度測量系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410535632.8
• 申請(qǐng)日: 2014-10-11
• 公開（公告）號(hào): CN104374474A
• 公開（公告）日: 2015-02-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王加朋;任曉婉;孫紅勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京振興計(jì)量測試研究所
• 主分類號(hào): G01J3/28
• 分類號(hào): G01J3/28
• 代理公司: 北京天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11386
• 代理人: 龔頤雯;馬東偉

1.一種高精度紫外光譜輻照度測量系統(tǒng)，包括紫外漫透射片、匯聚透鏡組、入射狹縫、消偏振器、折反鏡、紫外分光系統(tǒng)和線陣紫外探測器。其特征在于：

所述紫外漫透射片是一片圓形玻璃，其直徑范圍為Φ10mm～Φ200mm；所述匯聚透鏡組由一塊凸透鏡和一塊凹透鏡組成，兩塊透鏡中心軸線重合，組成一個(gè)匯聚光學(xué)系統(tǒng)用來收集漫透射光能量,兩塊透鏡前后表面均鍍200nm～400nm增透膜，透過率范圍為75％～99％，其余波段透過率較低；所述入射狹縫高度范圍為1mm～40mm；所述消偏振器由兩塊依次放置的延遲器組合而成；所述折反鏡表面鍍高反膜；所述紫外分光系統(tǒng)是采用光柵分光方式，光柵尺寸范圍為15mm×15mm～100mm×100mm。

2.根據(jù)權(quán)利要求所述的高精度紫外光譜輻照度測量系統(tǒng)，其特征在于:

所述紫外漫透射片的材料是氟化鈣單晶材料，滿足朗伯特性，余弦響應(yīng)小于4％，其直徑范圍為Φ10mm～Φ200mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度紫外光譜輻照度測量系統(tǒng)，其特征在于:

所述凸透鏡的口徑范圍為1mm～100mm，R1面半徑范圍為5mm～500mm，R2面半徑范圍為5mm～500mm，凹透鏡口徑范圍為1mm～100mm，R3面半徑范圍為5mm～500mm，R4面半徑范圍為1mm～100mm；兩個(gè)透鏡中心間距d0范圍為1mm～200mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度紫外光譜輻照度測量系統(tǒng)，其特征在于:

所述入射狹縫是可調(diào)節(jié)式結(jié)構(gòu)，調(diào)節(jié)高度范圍為1mm～50mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度紫外光譜輻照度測量系統(tǒng)，其特征在于:

所述消偏振器是由兩塊依次放置的楔形石英晶體組成，所述兩塊石英晶體的中心厚度比為1：2，楔角θ范圍為0.1°～10°。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度紫外光譜輻照度測量系統(tǒng)，其特征在于:

所述折反鏡的直徑范圍：Φ10mm～Φ100mm，所述折反鏡的基底材料為熔融石英，其表面鍍有高反膜，反射光譜范圍覆蓋200nm～400nm，光譜反射率范圍為70％～98％。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度紫外光譜輻照度測量系統(tǒng)，其特征在于:

所述紫外分光系統(tǒng)采用消像差全息凹面光柵分光方式，所述光柵光譜范圍：200nm～400nm，光柵常數(shù)：σ＝1200g/mm，光柵尺寸范圍為15mm×15mm～100mm×100mm，入射光束與出射光束夾角范圍為10°～180°。