[發明專利]三氯氫硅合成尾氣的回收裝置及其回收方法

有效

• 申請號: 201410534538.0
• 申請日: 2014-10-11
• 公開（公告）號: CN104310406A
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 沈海峰;劉松
• 申請（專利權）人: 江西賽維LDK太陽能多晶硅有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107;B01D50/00
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種三氯氫硅合成尾氣的回收裝置，其特征在于，包括依次管道連接的除塵器、緩沖罐、壓縮機、冷卻器、加熱器、反應器、存渣罐及回收罐，所述三氯氫硅合成尾氣經過所述除塵器進行除塵后得到三氯氫硅混合氣體，所述三氯氫硅混合氣體進入所述緩沖罐緩沖壓力后，進入所述壓縮機進行加壓后進入所述冷卻器，得到氯硅烷液體和氫氣混合氣體，所述氫氣混合氣體進入所述加熱器中進行加熱后，進入所述反應器與反應器中的硅粉進行反應后得到三氯氫硅混合物，所述三氯氫硅混合物進入所述存渣罐中進行雜質沉淀后，進入所述回收罐中進行回收。

2.根據權利要求1所述的三氯氫硅合成尾氣的回收裝置，其特征在于，所述三氯氫硅合成尾氣的回收裝置還包括預熱器，所述預熱器管道連接于所述存冷卻器與所述加熱器之間，用于將經過所述冷卻器冷卻的所述氫氣混合氣體進行預熱。

3.根據權利要求1所述的三氯氫硅合成尾氣的回收裝置，其特征在于，所述三氯氫硅合成尾氣的回收裝置還包括過濾器，所述過濾器管道連接于所述除塵器及所述緩沖罐之間，所述過濾器用于過濾所述三氯氫硅混合氣體中的雜質。

4.根據權利要求1所述的三氯氫硅合成尾氣的回收裝置，其特征在于，所述冷卻器上還連接精餾提純裝置，所述精餾提純裝置用于將經過冷卻的所述氯硅烷液體進行分離。

5.一種三氯氫硅合成尾氣的回收方法，其特征在于，

提供三氯氫硅合成尾氣；

提供一除塵器，將所述三氯氫硅合成尾氣通入所述除塵器中進行除塵，并得到三氯氫硅混合氣體；

提供一緩沖罐，與所述除塵器管道連接，將所述三氯氫硅混合氣體通入所述緩沖罐中進行壓力緩沖；

提供一壓縮機，與所述緩沖罐管道連接，將所述三氯氫硅混合氣體通過所述壓縮機中進行加壓至一預設壓力；

提供一冷卻器，與所述壓縮機管道連接，將所述三氯氫硅混合氣體通入所述冷卻器中進行冷卻，并得到氯硅烷液體及氫氣混合氣體；

提供一加熱器，與所述冷卻器管道連接，將所述氫氣混合氣體通入所述加熱器中進行加熱至一第一預設溫度；

提供一反應器，內儲存有硅粉，將加熱后的所述氫氣混合氣體通入所述反應器中，并加入催化劑，進行化學反應，得到三氯氫硅混合物；

提供一存渣罐，與所述反應器管道連接，將所述三氯氫硅混合物通入所述存渣罐中進行沉淀雜質；

提供一回收罐，與所述存渣罐管道連接，將所述三氯氫硅通入所述回收罐中進行回收。

6.根據權利要求5所述的三氯氫硅合成尾氣的回收方法，其特征在于，在提供一冷卻器，與所述壓縮機管道連接，將所述三氯氫硅混合氣體通入所述冷卻器中進行冷卻，并得到氯硅烷液體及氫氣混合氣體的步驟后，還包括以下步驟：

提供一精餾提純裝置，管道連接于所述冷卻器上，所述氯硅烷液體通過管道進入所述精餾提純裝置中進行分離；

提供一收集罐，管道連接于所述精餾提純裝置上，通過所述精餾提純裝置分離后的液體進入所述收集罐中進行收集。

7.根據權利要求5所述的三氯氫硅合成尾氣的回收方法，其特征在于，在步驟提供一除塵器，將所述三氯氫硅合成尾氣通入所述除塵器中進行除塵，并得到三氯氫硅混合氣體后還包括以下步驟：

提供一過濾器，管道連接于所述除塵器及所述緩沖罐之間，將所述三氯氫硅混合氣體通入所述過濾器中進行雜質過濾。

8.根據權利要求5所述的三氯氫硅合成尾氣的回收方法，其特征在于，在步驟提供一加熱器，與所述冷卻器管道連接，將所述氫氣混合氣體通入所述加熱器中進行加熱至一預設溫度前還包括以下步驟：

提供一預熱器，管道連接于所述冷卻器及所述加熱器之間，所述氫氣混合氣體進入所述預熱器中進行預熱至一第二預設溫度。

9.根據權利要求8所述的三氯氫硅合成尾氣的回收方法，其特征在于，所述預設壓力為2Mpa，所述第一預設溫度為550℃，所述第二預設溫度為150℃。

10.根據權利要求5所述的三氯氫硅合成尾氣的回收方法，其特征在于，在步驟提供一反應器，內儲存有硅粉，將加熱后的所述氫氣混合氣體通入所述反應器中，并加入催化劑，進行化學反應，得到三氯氫硅混合物中，所述催化劑為鎳，所述化學反應的反應方程式為：