[發明專利]雙通道離子源噴頭

有效

• 申請號: 201410528042.2
• 申請日: 2014-10-09
• 公開（公告）號: CN104269339A
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 董曉峰;陳煥文;王姜;顧海巍
• 申請（專利權）人: 東華理工大學
• 主分類號: H01J49/16
• 分類號: H01J49/16;H01J49/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 魯兵

1.一種雙通道離子源噴頭，其特征在于，包括：

外套(2)，具有中心貫通孔，所述外套包括外套頭部和外套尾部，所述外套尾部的側端具有與所述中心貫通孔相連通的側端螺紋孔；

放電針(1)，具有放電針頭部和放電針尾部，所述放電針頭部從所述外套尾部穿入，所述放電針尾部在所述外套頭部伸出；

電極(4)，其前端與所述放電針相貼合；

高壓導線(6)，其一端與所述電極相連接，通過所述電極將高壓加在放電針上；

進氣管(7)，所述進氣管插入到所述外套的側端螺紋孔內。

2.根據權利要求1所述的雙通道離子源噴頭，其特征在于，還包括放電針螺頭(3)，其前端螺頭擰入所述外套的尾部螺孔內，所述放電針尾部套進所述放電針螺頭里，并對所述放電針密封及固定。

3.根據權利要求2所述的雙通道離子源噴頭，其特征在于，還包括電極螺頭(5)，所述電極設置在所述電極螺頭的內孔中，所述高壓導線穿入所述電極螺頭的內孔并與所述電極相貼合，所述電極螺頭從所述放電針螺頭的后端擰入，所述電極貼在所述放電針尾部的端面上。

4.根據權利要求1所述的雙通道離子源噴頭，其特征在于，所述高壓導線的一端置入所述電極的內孔中并與所述電極相焊接。

5.根據權利要求1或2或3或4所述的雙通道離子源噴頭，其特征在于，所述外套為錐形結構，所述外套頭部具有錐尖，所述外套尾部粗大呈扁平狀；所述外套還包括外套中部，所述外套中部連接所述外套頭部和所述外套尾部，所述外套中部呈圓柱形，所述外套中部的外圓柱面上刻有便于在安裝時觀察噴頭的位置的軸向的線性刻度。

6.根據權利要求5所述的雙通道離子源噴頭，其特征在于，所述中心貫通孔的孔徑大于所述放電針的外徑，兩者間隙為高純度氮氣N2的通道。

7.根據權利要求5所述的雙通道離子源噴頭，其特征在于，所述放電針的結構呈兩段式，包括頭段和尾段，所述尾段的直徑大于所述頭段的直徑。

8.根據權利要求5所述的雙通道離子源噴頭，其特征在于，所述放電針的結構呈兩段式，包括頭段和尾段，所述尾段的長度大于所述頭段的長度。

9.根據權利要求5所述的雙通道離子源噴頭，其特征在于，所述電極安裝在所述放電針尾部。

10.根據權利要求5所述的雙通道離子源噴頭，其特征在于：所述放電針頭部為圓錐形形狀。